晶圆代工厂发展MEMS的唯一要诀：找到强大的设计伙伴.pdfVIP

晶圆代工厂发展MEMS的唯一要诀：找到强大的设计伙伴 1位伊朗人30多年前独自来到美国柏克莱大学念书，自毕业后为了一圆其大学时期对于MEMS的梦想， 多时间在家埋头苦干，开创出1套前无古人的MEMS设计公司营运模式，如今看来他对了，至 运动感测的庞大商机， 所有 MEMS代工厂皆极有意愿配合此平台为其独家生产。 问：InvenSense为1家IC设计公司，台积电当前虽已引进制造MEMS产品所需要相关设备，但先前ADI 正因为台积电整体良率还是一直没办法满足他们需求，到2008年下半，台积电采用整厂输入方式生产 ，才满足ADI的需求，请问你们是否选择台积电做为代工伙伴？而除了台积电以外，目前是否还有考 量其余代工伙伴？ 成长，因此InvenSense绝对会选择台湾做为未来InvenSense全球晶圆代工产能来源。 晶圆代工厂做最后的确认，且由于与各家晶圆代工厂签订保密条约(NDA)，因此现在还暂时无法对外 公布晶圆代工伙伴，但可确定是目前看来，最快要等到2009年初才会开始在台湾晶圆代工厂中大量投 片。 我们并不清楚台积电内部在这方面面临的挑战，所以我无法做任何评论。但台湾CMOS制造能力非常 先进，并拥有相关领域中相当有能力的专业人才，我相信在MEMS制造上，台湾会同样成功。 问：台湾在标准CMOS制程上一直处于领先地位，也因此造就了台湾半导体产业上中下游相关完整供 应链，不过对于制造及设计MEMS产品似乎还是有瓶颈，就您过去将近30年MEMS产业经验，您认为 台湾半导体厂商要如何突破此一瓶颈？ 答：根据我近几年从事MEMS产业的经验，结论其实相当简单，那就是要与强者结合。事实上由 于MEMS的晶圆代工并不像标准CMOS制程，用1个制程就可替不同客户代工，且就CMOS制程的晶圆 代工厂来说，因属于标准化的制程，所以可以向很多IDM大厂技术授权，如可由IBM、英特尔(Intel)以 及日本、欧洲的IDM大厂取得技术授权，但是谈到MEMS晶圆代工，则必须仰赖单一且背景相当扎实 的技术授权对象。 就好比当前MEMS麦克风大厂楼氏电子，他的晶圆代工厂伙伴便是Sony半导体，这样结合便是创造楼 氏电子辉煌成绩主要原因，换言之要做MEMS晶圆代工就绝对不能选错「合作伙伴」，一旦选错的话 就铁定完蛋。 举例来说，当前所谓的CMOS like晶圆代工厂与客户关系，就好比1家餐厅与到餐厅吃饭的客户间关系 ，这家餐厅的所提供菜色谁来吃都可以，但最重要的便是餐厅的服务，如果有好的服务，势必会带来 更多的客户。 不过就MEMS晶圆代工产业模式来说，MEMS晶圆代工的厂商与MEMS设计业者双方间的关系就好比 是老公与老婆间的关系，双方的关系绝对是1对1的关系，不容许有其它人来介入，老婆煮饭绝对是只 为老公。 因此我要说的是台湾的半导体厂商无论是晶圆代工厂或是设计公司，想要能够进入MEMS市场，最重 要的工作便是要找到好且有力的伙伴，彼此间才能够携手走更长久的路。 我同意台湾公司在MEMS领域发展并不成熟，但台湾却参与制造出世界一流的产品，在这领域中，并 没看到瓶颈。而要保持领导的地位，一般而言，不外乎与市场领导厂商结盟并投资先进生产制程科技 。最近一些晶圆厂的新闻已证实了台湾晶圆代工厂在这方面的决心。 问：除了要选择正确伙伴外，想要进入MEMS市场还需要注意那些事项？新进厂商有无机会呢？ 答：我想要补充一点是之所以要找对的正确且值得托付终身合作伙伴，最主要原因在于无论是晶圆代 工厂或是MEMS设计业者，想要进入MEMS产业且长久立足，则势必要投入相当大的人力与资金，晶 圆代工厂也需要为了进入MEMS晶圆代工而另外购买相关MEMS设备，但买入的设备又不见得可以满 足所有的客户需求，因此必须要相当谨慎小心，一旦选错伙伴，则所有的投资恐将付之一炬。 如你所知，MEMS的字面意义是在微小的单位里的微机械结构。今天，各个MEMS技术的生产、设计 司所面临的问题来回答你。 没有晶圆厂的MEMS设计公司存在著许多重大的挑战。首先遇到的便是在许多不同制程中选择最适合 你的产品制程。再来是选择配合晶圆代工厂并利用代工厂的制程及容忍的误差值来进行设计。 由于不像CMOS晶圆代工厂，MEMS晶圆代工厂提供的制程并没有完整的量测数值，对于许多新进厂 商这会是相当致命的。任何的MEMS产品都需经过完整的制程发展循环，这需花费相当时间与资本。 这同时也意味著需要培养自己的MEMS制程专家来参与制程发展。在这考量下，MEMS晶圆代工厂并 不是1个适当的名称，较合适的名称可能是「具MEMS能力的晶圆厂」，因为最后晶圆厂提供的制程是 由设计公司决定的。 所以你