特殊气体课件.docVIP

第二节 特殊气体 前言 在半导体集成电路制造过程中使用种类繁多的特种气体,这些气体大都具有易燃,易爆,有毒等危险特性,所以我们必须要充分了解这些特性,根据它们的安全特性制定不同操作方法,才能安全地使用它们。即使发生安全事故,我们也必须知道怎么样去正确处置。 2-1半导体制造用特殊气体在搬送上的注意事项 气瓶的使用必须在指定的场所进行,其它场所严禁 与气瓶配套使用的阀门,压力计,流量计等部品必须专用,严禁各气体间混用 气瓶使用前需确认气瓶是否固定好,H2气瓶最好有接地装置 处置发生气体泄漏后气瓶时,为了避免残存有害气体的伤害,首先进行有效的通风,处置人员必须穿着空气呼吸器,并且把可燃物品清除出去 其它方面的注意事项同有毒,可燃性气体的处置注意事项相同 2-2气体的保管,使用,运输 2-2-1保管 气体存放地方需取得相关部门的认证 气瓶的存放处周围2米内火源,易燃物严禁放置 为了避免气瓶上方重物坠落损伤气瓶及阀门,所以气瓶放置处上方严禁悬挂重物,另外气瓶需用金属绳给予固定 气瓶的保管温度应在40℃以下 在特气放置处附近为了防止火源接近,必须悬挂”禁烟” “ 严禁烟火” “危险” 等安全警示标示 特气放置处必须配备有效的消防设施(碳酸灭火器,消火栓等) 特气放置处还需配备毒气吸收剂,中和剂及防毒面具,空气呼吸器等装置 2-2-2气体使用过程中的注意事项 特气使用场所应保证室温在40℃以下 为了防止气瓶翻倒,需对气瓶进行固定,如固定用链条,固定架等 气瓶的阀门在开启和关闭时动作要轻,使用后的气瓶在关闭阀门后需盖上保护罩 在气瓶使用前,必须对阀门,配管,压力计等拆装部分用检漏液进行检漏 易燃气体使用在减压设备时,气瓶与设备之间必须要有逆止法 特气相关的作业过程中必须两人同时进行 2-2-3气体的移动 在搬送易燃性和有毒性气体时,需严格遵守国家的相关法律及法规 特气运输车在运输气体时,必须配备消防设备,防毒器具,吸收剂,保护眼镜 在气瓶使用现场搬送气瓶时应使用专用搬送小车,避免碰伤气瓶 2-3特气分类 可燃性气体 有毒性气体 卤素类气体 非金属类化合物 碱性气体 酸性气体 无机酸气体 惰性气体 2-4异常事故处置 2-4-1火灾 2-4-1-1一般注意事项 火灾发生时重点处置对策内容 (a)气体爆炸 (b)有毒气体中等 (c)气瓶阀门损坏，气瓶破裂 与火灾发生相关对策 (a)火灾发生时要及时通知周围的人及安全管理主任者 (b)较大的火灾应及时通知消防部门 (C)当发生严重的毒气泄漏时，消防部门，医疗救护部门等相关部门要进行联合调查处置 参加灭火人员应具备危险气体的消防知识 2-4-1-2火灾周边的处置 (1)可移动的气瓶迅速转移到安全场所 (2)如果气瓶不可移动，要对气瓶进行冷却处理防止气瓶发生爆裂 (3)危险的易燃和有毒气体应优先转移到安全场所 (4)相关人员迅速实施避难 2-4-1-3着火气瓶的处置 (1)为了防止二次火灾发生，将着火气瓶移动到其他场所进行灭火 (2)在处置着火气瓶时，一定要注意易燃，有毒气瓶的爆裂和泄漏 (3)一定要佩带保护用具，并且在灭火时一定要在上风方向 用水冷却是最为有效的救火方法，但也可根据情况使用灭火器和灭火沙 2-4-2受伤人员的处置 2-4-2-1一般注意事项 (1)被害者迅速转移到安全场所 (2)对被害者进行紧急救护 (3)与紧急救护医院进行联络 2-4-2-2紧急处置对策 当吸入有毒性气体后，首先将被害人转移到空气新鲜的场所休息，松开衣扣，并且盖上保暖物，如有必要可进行吸氧。告知医生被害人吸入的有毒气体名，由医生进行进一步的处置。 当有毒气体进入到眼睛里时，用洗眼器冲洗眼睛15分钟以上，然后到医疗诊所进行治疗。 当皮肤受到有毒气体侵害时，脱去衣服用大量的水进行冲洗，。 2-5 SGNEC使用特气安全性质一览表 气体名称 分子式 性质 气体区分 容许浓度 自燃 可燃 助燃 毒 腐蚀 PURE HE 47L/150KG/CM2 He CL2 /10L 10KG Cl2 O O D 1ppm HBR /10L 10KG HBr O O B 3ppm CF4 /47L 32KG CF4 C CHF3/47L20KG CHF3 C BCL3/47L 50KG BCL3 O O B SIH4(20%)/AR /47L100KG/CM2 SiH4/Ar O O A SIH4(20%)/N2/47L100KG/CM2 SiH4/N2 O O A SIH4(100%) /47L/10KG SiH4 O O A SIH2CL2 /40L/20KG SiH2Cl2 O O O B NH3 /40L 20KG NH3 O O O B 25ppm 02(1%)/AR /47L150KG/CM2