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电容式传感器的位移特性实验
一、实验目的:
了解电容式传感器结构及其特点。
二、基本原理:
利用平板电容 C=εA/d 和相应的结构及测量电路,在ε、 A、d 三个参数中,保持二个参数不变, 而只改变其中一个参数, 则可以有测谷物干燥度 ( ε变) 、测微小位移 ( 变 d) 和测量液位 ( 变 A)等多种电容传感器。利用电容传感器的动态响应特性和可以非接触测量等特点, 可进行动态位移测量。
电容传感器具有结构简单、灵敏度高、分辨力高(可达 0.01mm甚至更高)、动态响应好、可进行非接触测量等特点, 它可以测量线位移、角位移,高频振动振幅,与电感式比较,电感式是接触测量,只能测低频振幅,电容传感器在测量压力、差压、液位、料位成分含量(如油、粮食中的水份)、非金属涂层、油膜厚度等方面均有应用。目前半导体电容式压力传感器已在国内外研制成功,正在走向工业化应用。
三、需用器件与单元:
电容传感器、电容传感器实验模板、测微头、相敏检波、滤波模
板、数显单元、直流稳压源。
四、实验步骤:
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1、按图 2-1 将电容传感器装于电容传感器实验模板上。
图 2-1 电容传感器安装示意图
2、将电容传感器连线插入电容传感器实验模板,实验线路见图 2-2 。
图 2-2 电容传感器位移实验接线图
3、将电容传感器实验模板的输出端 V01 与数显表单元 Vi 相接 ( 插入主
控箱 Vi 孔) ,Rw调节到中间位置。
4、接入± 15V 电源,旋动测微头推进电容传感器动极板位置,每间
隔
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0.2mm记下位移 X与输出电压值,填入表 2-1 。
表 2-1 电容传感器的位移特性
X(mm)
V(mv)
5、根据表 2-1 数据计算电容传感器的系统灵敏度 S 和非线性误差δ f 。
五、思考题:
图 2-3 为同心圆筒式电容位移传感器结构图, D为屏蔽套筒。若外圆筒半径 R=8mm,内圆柱半径 r=7.25mm,外圆筒与内圆柱覆盖部分长度 L=16mm。根据实验所提供的电容传感器尺寸,计算其电容量 CO和移动 0.5mm时的变化量。
图 2-3 同心圆筒式电容位移传感器结构图
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