等离子体聚合分解.pptVIP

表 等离子体聚合中单体元素组成与其聚合物组成的比较 单 体 丙烯腈 丙腈 丙胺 单体的 元素组 成 C 3 H 3 N C 3 H 5 N C 3 H 9 N 聚合物的 元素组成 C 3 H 3 NO 0.4 C 3 H 4.7 NO 0.8 C 3 H 5 NO 0.4 单 体 乙烯 / 氮气 丙二烯 丙二烯 / 氮气 单体的元 素组成 聚合物的 元素组成 C 2 H 3 N 0.6 O 0.8 C 3 H 3.7 O 0.4 C 3 H 2.6 N 0.7 O 0.5 C 3 H 4 烯丙胺 乙烯 乙炔 乙炔 / 氮气 乙炔 / 水蒸气 乙 炔 / 氮 气 / 水蒸气 C 3 H 6 N C 2 H 4 C 2 H 2 C 3 H 4.7 NO 0.4 C 2 H 2.6 O 0.4 C 2 H 1.6 O 0.3 丙二烯 / 水蒸气 丙 二 烯 / 氮 气 / 水蒸气 环氧乙烷 C 2 H 4 O C 6 H 9 Si 2 O C 2 F 4 C 3 H 4.2 O 0.6 C 3 H 4.4 N 0.45 O 0.6 C 2 H 2.9 O 0.4 C 3.5 H 10.5 Si 2 O 2 C 2 F 3 O 0.3 C 2 H 2.2 N 0.5 O 0.3 六甲基二硅醚 C 2 H 2.7 O 0.6 C 2 H 2.9 N 0.5 O 0.7 四氟乙烯 2.2 等离子体聚合的方法和装置 1) 辉光放电方法 2) 电晕放电法 3) 溅射法 4) 离子镀敷法 5) 等离子体 CVD 法 按电极的位置可分为内部电极和外部电极两种形式 优点： 电利用效率高 缺点： 反应条件易 变动，存在等离子 体表面特性或等离 子体聚合膜的性能 不稳定的问题 。 内部电极型 匹配 网络 13.56M Hz 高频 电源 基板 优点： 聚合速度易于控制，得到 的等离子体纯净而均匀 , 特别适 合于高纯度物质的制备和加工 。 缺点 : 难以获得高密度的 等离子体，且不适宜用作 大规模生产性装置。 单体 真空泵 外部电极型 2.3 等离子体聚合机理 引发 链增长 聚合物的沉积 2.3.1 等离子体聚合反应的引发中心 研究等离子体聚合的引发中心的关键 : 识别 控制等离子体聚合机理的主要粒子（自由基、 电子和其他激发态分子）。 1) 正离子机理 ： Wastwood 根据观察到聚合物几 乎全部沉积到阴极上。 2) 自由基引发机理 ： Dearo 等人根据等离子体聚 合物薄膜上存在有大量的自由基。 （ 1 ）单体的电离 单体与高速电子碰撞而产生的电离是形成单 体等离子的关键，单体电离可看作等离子聚合的 第一个基元步骤 e - + A A + + 2e - 受碰撞的单体分子 其次是光离解作用 hv +A A + +e - 已经证明，等离子体聚合中的主要活性种是自由基，通常有四种产 生活性种的途径： 激发态分子的解离 阳离子的解离 离子 - 电子的中和 离子 - 分子反应 （ 2 ）控制粒子 等离子体中存在离子、自由基、电子和激发态分子， 识别控制等离子体聚合机理的 重要粒子 是关键所在 ? Wastwood 首先提出了等离子体中的正离子是引 起聚合反应的重要粒子，其根据是观察到聚合 物几乎全部沉积到 阴极 上 ? Denaro 等人认为是自由基机理，他们的实验根 据是用 ESR 技术测量到等离子体聚合物中有很大 浓度的自由基 目前大部分研究者赞成等离子聚合的反应机理是 自由基 引发的基板表面聚合 ，即吸附于基板上的单体在等离子体中 活性自由基的作用下被活化，以此为核发生聚合反应 单体在等离子体中变化的情况非常复杂，可能有四 种过程可以产生自由基 ? 激发态分子的离解 (R 1 － R 2 )* (RH)* R 1 ? + R 2 ? R ? + H ? ? CH 3 ? 正离子的离解 CH 3 CH 3 C CH 3 CH 3 + + CH 3 C CH 3 ? + CH 3 ? 离子 - 电子的中和 CH 3 C CH 3 ? + CH 3 C CH 3 CH 3 - + e CH 3 H ? + CH 3 CH 3 C CH 2 ? 离子 - 分子反应 RH + + RH RH 2 + + R ? 2.3.2 等离子体聚合的链增长机理 至今所提出的各种聚合反应的链增长机理可以表示为 : M m * + M M * m+1 类似连锁聚合 的增长方式 在等离子体聚合中，链增长是一种快速的逐步增长过 程，可表示为： M m * + M n * M * m+n 代表同类反应 的多次重复 类似逐步聚合中的 × N 多聚体的结合 - 再 被激发的循环过程 总体上，等离子体聚合中的链增长是一种 快速的逐步增长过程 Yas