精密加工设备的发展.docVIP

超精密加工设备的发展历史 纵观国内外40多年超精密机床发展史，可以总结岀两大特点：一是大学和研究所保持 着对超精密机床研究的持续热情，对高技术进行超前研究，对超精密机床产业化和商品化起 着推动的作用；二是超精密机床的模块化、系统化是其进入市场的重要技术手段。 美国是开展超精密加工技术研究最早的国家，也是迄今处于批界领先地位的国家。早在 20世纪50年代末，rfl于航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密 切削技术,称为SPDT (SinglePoint Diamond Turning)技术，并发展了相应的空气轴承主 轴的超精密机床，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件 等。 Nanosys 300非球面复合加工系统 美国Union Carbide公司于1972年研制成功了 R- B方式的非球面创成加T.机床。这是 一台具有位置反馈功能的双坐标数控车床，可实时改变刀座导轨的转角e和半径R,实现非 球面的镜面加工。Moore公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M-18AG非球面加工 机床，这种机床可加工真径为356mm的备种非球面金属反射镜。英国Cranfield大学精密工 程研究所(CUPE)研制的大世超精密金刚石镜面切削机床，可以加丁-大型X射线天体望远镜用 的非球面反射镜。 20世纪80年代，美国UnionCarbide公司、Moore公司和美国空军兵器研究所制定了一 个以形状精度为0. 1 u m、肓径为800mm的大型球面光学零件超精密加工为目标的超精密机 床研究计划 POMA (Point One Micrometer Accuracy)计划，这是一个里程碑式的研究计划。 20世纪80年代屮后期，美国通过能源部“激光核聚变项目”和陆、海、空三军“先进 制造技术开发计划”，对超精密金刚石切削机床的开发研究，投入了巨额资金和大量人力， 实现了大型零件的超精密加工。如美国劳伦斯?利弗莫尔国家实验室1984年研制出一台大 世光学金刚石车床(Large Optics DiamondTurning Machine, LODTM),至今仍代表了超精密 加T设备的最高水平，该机床可加工直径为2.1m,重为4.5t的T件。采用高压液体静压导 轨，在1.07mX 1.12m范围内直线度误差小于0.025um(在每个溜板上装有标准平尺,通过 测量和修正来达到)，位移误普不超过0.013*讥用氨屏蔽的激光干涉仪来测量和反馈控制 达到)，主轴溜板运动偏摆小于0.057〃(通过两路激光干涉仪测量，压电陶瓷修正來实现)。 激光测量系统有单独的花岗岩支架系统,不与机床联结。油喷淋冷却系统可将油温控制在(20 ±0.0025) °C。采用摩擦驷动，运动分辨率达0.005卩叽 报终可实现加工大型光学零件直 径达1.4m,面形精度为0.025uni,表面粗糙度RaW5nm。 由于有了模块化和构件化的技术，研制新的超精密制造设备的费用和周期大大卞降，技 术难度也同时下降。进入80年代后，随看民用光学应用范围的扩大，超精密加工技术在民 用行业得到了应用。英国Rank Pneumo公司于1980年向市场推出了利用激光反馈控制的两 轴联动加工机床MSG-325,我国屮科院长春光机所引进的我国第一台超精密加丁设备即为该 型号。随后乂推出 了 ASG2500、ASG2500T、Nanoform300 等机床。 经过多次的合并与收购，目前国际上主要生产金刚石超精密加工设备的厂商主要有：美 国Moore公司、AMETEK集团旗下的Precitech公司、Taylor Ilobson公司，这几家公司 占据了绝大部分的市场份额。口本开发的超精密加工机床主要用于加工民用产品所需的透镜 和反射镜，1=1前口本制造的加T机床有：东芝机械研制的ULG-IOOA(H).不二越公司的 ASP-L15、丰出工机的AHN10、AH\30X25、AHN60-3D非球面加工机床等。 当今超精密机床技术的发展趋势是:技术上不断朝着加工的极限方向发展，向更高精度、 更高效率方向发展，向大型化、微型化方向发展；功能上向加匚检测补偿一体化方向发展; 结构上向多功能模块化方向发展；功能部件上向新原理、新方法、新材料丿也用方瓯发展，总 体来讲是向极限制造技术方面发展。 超精密机床技术目前已经发展成为一项综合性的系统工稈,其发展综合利用了基础理论 （包括切削机理、悬浮理论等）、关键单元部件技术、相关功能元件技术、刀具技术、计量与 测试分析技术、谋羌处理技术、切削T艺技术、运动控制技术可重构技术和环境技术等。因 此，技术高度集成己成为超精密机床的主要特点。 新理论、新原理.新观点、新方法及新技术在超精密机床中的应用 近年来，超精密基础元部件及机床结构等方面应