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精品资料
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可编辑修改
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A-Scan扫描模式
当材料内部的声阻抗发生改变时, 一部分声波会被反射回来,剩余的声波会继续穿过样品或分界
面,如:在晶界边界、内含物、裂纹、空洞、孔洞和分层等。
A-Scan的重要性:
? 显示从样品表面的时间-距离的关系;
? 分层和材料识别基于反射回波信号的极性;
? 通过设定不同的电子门限来研究样品内部特定深度的不规则的特性;
? 材料的特性;
B-Sca n
B-Scan扫描模式
B-Sca n得到的图像是穿过样品横截面的信息;
---检查的厚度是由 B-Scan的门限的宽度决定的仃hickness=V x T)
? 实例如下:为同一样品不同位置的 B-Sca n图像;
? 界面的数量;
? 界面的深度;
? 缺陷的深度;
注:KSI新增加了新的P-Scan扫描模式:一种自动执行多次 B-Scan的扫描模式
C-Scan
C-Scan扫描模式
C-Sca n图像是样品内部某一层 (具有一定厚度信息)的图像;
---扫描层的厚度由门限的宽度决定;
---扫描层的深度由门限的开始位置决定;
? 实例如下:Wafer涂层
通过C-Scan图像可以判断:
? 缺陷的位置;
? 缺陷的形状;
? 缺陷的尺寸;
D-Scan扫描模式
D-Sca n图像是通过样品对角线的图像;
? 实例如下:
通过D-Scan图像可以判断:
? 对于斜焊接,通过设置门限的宽度和开始位置可以有效的检测焊接界面的缺陷;
G-Scan
G-Scan扫描模式
G-Sca n扫描模式是多层扫描模式,区别与 X-Sca n扫描模式,在G-Sca n扫描模式 中,每一层扫描图像的门限开始位置,门限宽度都可以分别设置,包括增益、发射能 量、滤波方式等也可以不同,每设置一个参数,可以存储在 G-Sca n存储器中,最后
执行G-Scan,—次或多次在监视器上岀现存储参数的图像;
? 实例如下:同一样品,设置不同的门限参数存储后执行 G-Sca n图像
X-Scan
X-Scan扫描模式
X-Scan
X-Scan
扫描模式只要是设定一个扫描的总厚度门限,然后设定每层的门限厚度,
扫描模式可自动的根据扫描总厚度和每层的厚度自动生成 (1--n)多层C-Scan
图像;
---层数的多少由设定的扫描的总厚度门限和每层厚度决定;
根据X-Scan图像可以判断(除由C-Scan图像判断岀的缺陷外):
? 快速的了解样品内部的概况;
? 缺陷在不同深度的位置;
T-Sca n
T-Scan扫描模式
T-Sca n透射扫描模式是使用两个换能器,一个换能器用来发射超声波,超声波穿过样 品,另一侧的换能器用来接收透过样品的超声波;
按能器1 (超芦波发射)
祥品
祥品
换能器
换能器2 (接收)
? 实例如下:采用 T-Sca n扫描模式,当接收换能器没有接收到发射的超声波信 号时,用黑色表示,所以下图中黑色区域表示分层缺陷;
? ? ?0 * 4 ? 0 ? 0 ? 04 4
? ? ?
0 * 4 ? 0 ? 0 ? 04 4
3D-Scan
3D图像3D-Sca n扫描方式
3D图像
? 实例如下:利用超声波反射时间重建原理来生成的硅片焊接层的
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