半导体材料基础理论.ppt

Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 在纯净的半导体中掺入受主杂质后，受主杂 质电离，使价带中的导电空穴增多，增强了半导 体的导电能力。通常把主要依靠空穴导电的半导 体称为空穴型或 p 型半导体。 对于 p 型半导体：空穴浓度 p 》电子浓度 n ； np=n i 2 空穴是多数载流子，简称多子， 电子是少数载流子，简称少子。 Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 总之，根据对导电性的影响，半导体中的杂 质又可分为两种类型。当杂质能级能提供电子时 （施主杂质），半导体主要靠杂质电离后提供的 电子导电，这种半导体称为 n 型半导体；另一种 杂质可以提供禁带中空的能级（受主杂质），因 而价带中有些电子可以激发到受主能级上而在价 带中产生大量空穴，这种半导体称为 p 型半导体， 其主要靠空穴导电。 Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 在一定温度下，半导体中的大量电子不停地作无规 则热运动，从一个电子来看，它所具有的能量时大时小， 经常变化。但是，从大量电子的整体来看，在热平衡状 态下，电子按能量大小具有一定的统计分布规律性，即 电子在不同能量的量子态上统计分布几率是一定的。根 据量子统计理论，服从泡利不相容原理的电子遵循费米 统计律。 Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 对于能量为 E 的一个量子态被一个电子占据的几率 f(E) 为： f(E) =1/(1+exp[(E-EF)/kT]) f(E) 称为电子的费米分布函数，它是描写热平衡状态 下，电子在允许的量子态上如何分布的一个统计分布函数。 式中 k 是波耳兹曼常数， T 是绝对温度。 EF 称为费米能级 或费米能量，它和温度、半导体材料的导电类型、杂质的 含量以及能量零点的选取有关。 E F 是一个很重要的物理参 数，只要知道了 E F 的数值，在一定温度下，电子在各量子 态上的统计分布就完全确定。 Guangdong Ocean University Xiong Zhengye Semiconductor Modern Theory Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 1 、原子的能级和晶体的能带 制造半导体器件所用的 材料大多是单晶体。 单晶体是由靠得很紧密 的原子周期性重复排列 而成，相邻原子间距只 有几个埃的量级。 1 埃 ( ? ) = 10 -10 米 (m) Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 晶体的结合形式 一般的晶体结合，可以概括为离子性结合， 共价结合，金属性结合和分子结合（范得瓦尔斯 结合）四种不同的基本形式。 半导体材料主要靠的是共价键结合。 共价键的特点： 饱和性：一个原子只能形成一定数目的共价 键； 方向性：原子只能在特定方向上形成共价键； Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 电子的共有化运动 当原子相互接近形成晶体时，不同原子的内 外各电子壳层之间就有一定程度的交叠，相邻原 子最外层交叠最多，内壳层交叠较少。原子组成 晶体后，由于电子壳层的交叠，电子不再完全局 限在某一原子上，可以由一个原子转移到相邻的 原子上去，因而，电子可以在整个晶体中运动， 这种运动称为电子的共有化运动。 电子只能在相似壳层间转移； 最外层电子的共有化运动最显著； Guangdong Ocean University Xiong Zhengye 当两个原子相距很远时，如同两个孤立的原子， 每个能级是二度简并的。当两个原子互相靠近时， 每个原子中的电子除了受到本身原子势场的作用， 还要受到另一个原子势场的作用，其结果是每一个 二度简并的能级都分裂为二个彼此相距很近的能级， 两个原子靠得越近，分裂得越厉害。 当 N 个原子互相靠近形成晶体后，每一个 N 度简 并的能级都分裂成 N 个彼此相距很近的能级，这 N 个 能级组成一个能带，这时电子不再属于某一个原子 而是在晶体中作共有化运动。分裂的每一个能带都 称为允带，允带之间因没有能级称为禁带。 Guangdong Ocean University Xiong Zhengye r ? ? = ? 1 s ( r A ) + ? 1s (r B ) ? ? * = ? 1 s ( r A ) - ? 1 s (