用垂直磁各向异性自旋阀的性能优化分析.docxVIP

复 旦 复 旦 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘 要 摘 任 石 多 丈 由于 纳 米 尺 寸 的 垂 直 磁 各 向异 性 自旋 阀具 有 良好 的 热 稳 定 性 、 翻 转 稳 定 性 以及 低 翻 转 电流 等 特 点 ，在 研 发 高 密 度 磁 随 机 存 储 器 (M RA M) 方 面 具 有 极 大 的 潜 在 应 用 前 景 ，从 而 吸 引 了研 究 人 员 的广 泛 关 注 。本 文 的工 作 就 是 针 对 M RA M 用 垂 直 磁 各 向异 性 自旋 阀进 行 性 能 优 化 ， 采 用 的 方 法 主 要 包 括 两 方 面 : 第 一 ，采 用 垂 直 磁 各 向 异 性 的 人 工 合 成 反 铁 磁 (Sy n th e tiC an t if er ro m ag n et; SA F) 结 构 ; 第 二 : 采 用 T b C。与 「C o/ N i〕、多 层 膜 的 祸 合 结 构 。 本 论 文 主 要 内 容 如 下 : 关 于 人 工 合 成 反 铁 磁 结 构 ， 我 们 成 功 制 备 出具 有 垂 直 磁 各 向异 性 的 人 工 合 成 反 铁 磁 【C o用 i」N/R u/【C o加 小 多 层 膜 结 构 。并 研 究 了 Ru 层 厚 度 及 [C o/N i]N 周 期 数 N 对 其 磁 性 的 影 响 。 我 们 选 择 具 有 强 的 反 铁 磁 祸 合 场 以及 大 的 净 磁 矩 翻 转 场 的 SA F 结 构 作 为 自旋 阀 的 参 考 层 。普 通 的 [C ofN i]自旋 阀在 150 ℃ 退 火 时 GM R 信 号 就 已经 迅 速 卜降 ， 与其 相 比 ， SAF 自旋 阀 由 于 具 有 大 的 自 由层 与 参 考 层 翻 转 场 差 ， 热 稳 定 性 要 好 得 多 。 室 温 下 ， 其 GM R 信 号 为 6 .0% ， 并 随 着 退 火 温 度 升 高 而 缓 慢 降 低 。 我 们 认 为 GM R 信 号的 降 低 是 因 为 热 处 理 导 致 的 多 畴 形 成 以及 垂 直 各 向 异 性 变 差 。 关 于 T b C 。 与 「C 。闪 i]N 多 层 膜 的 祸 合 结 构 ， 我 们 研 究 了 不 同 成 分 比 的 T bC 。 合 金 膜 与 【C ofN i]N 的祸 合 作 用 。 然 后 选 择 富 Tb 的 T bC 。与 [C o加 i』N 多 层 膜 组 成 垂 直 交 换 祸 合 结 构 ， 以该 结 构 作 为 参 考 层 的 自旋 阀表 现 出 了优 异 的 性 能 。 稍 微 增 加 T bC o 的 厚 度 ，祸 合 结 构 的 垂 直 矫 顽 力 会 明显 增 大 ， 从 而 增 加 了 自由层 与 参 考 层 的 翻 转 场 差 ，实 现 在 较 大 的 外 场 范 围 内磁 化 方 向 的平 行 与 反平 行 。 由 于 参 考 层 的 磁 矩 反 平 行 排 列 ，产 生 的 散 磁 场 很 小 ， 因而 T b C。祸 合 自旋 阀 不 仅 能 保 持 高 的 G M R 信 号 ， 自由 层 翻 转 场 没 有 受 到 散 磁 场 的 影 响 ，GMR 回 线 关 十 原 点 对 称 ， 这 些 性 能 对 实 际 应 用 非 常 重 要 。 关 键 词 : 磁 性 自旋 阀 ，垂 直 各 向 异 性 ， 巨磁 电 阻 效 应 ， 人 工 合 成 反 铁 磁 ， 垂 直 交 换 祸 合 中 图分 类 号 : 0 482 .52+ 5 ，0 484 .4+ 3 复 旦 复 旦 大 学 硕 士 学 位 论 文 A b str ae t A b s tfa C t S P in v a lv es w ith Perpen d ieu lar inag netie an iso tro P y (P M A ) h av e attraeted in ten se in te re sts a s a P ro m is in g e a n d id a te f o r a P P lie a tio n s in th e m a g n e to re s istiv e ra n d o m aeeess m em o ry (M R A M )