硅片上课讲义[文字可编辑].pptVIP

在 VLSI 中，一万亿个硅原子仅允许含有少于一个的重金属 元素。 问题： 多少杂质？ 1 立方厘米的硅中有 ( 密度 2330kg/m 3 ) 12 二氧化硅的结构 Si O Si O Si O O O O Si O Si O Si O O Si O O O Si O O O Si O O SiO 2 的立体结构 SiO 2 的平面结构 13 二氧化硅的性质 二氧化碳（ CO 2 ） 存在 结构 空气 分子晶体，存在 CO 2 分子。 无色气体，熔、沸点低，微 溶于水 CO 2 + H 2 O ? H 2 CO 3 CO 2 +2NaOH=Na 2 CO 3 +H 2 O 不反应 CO 2 + CaO =CaCO 3 二氧化硅 (SiO 2 ) 存在于岩石中，硅石、石英、 水晶、硅藻土 原子晶体，不存在 SiO 2 分子 物理性质 与水反应 与 NaOH 反应 坚硬难熔的固体，不溶于水。 不反应 SiO 2 +2NaOH=Na 2 SiO 3 +H 2 O 只与 HF 反应 高温 与酸反应 与 CaO 反应 SiO 2 + CaO ===CaSiO 3 14 二氧化硅的性质 二氧化碳（ CO 2 ） CO 2 + Na 2 CO 3 +H 2 O==2NaHCO 3 与盐反应 CO + Na SiO +H O== 2 2 3 2 高温 Na CO +H SiO ↓ 2 3 2 3 点燃 CO 2 +C ===2CO 弱氧化性 CO 2 +2Mg===C+2MgO 二氧化硅 (SiO 2 ) 高温 SiO 2 + CaCO 3 ===CaSiO 3 +CO 2 ↑ 高温 SiO 2 + 2C===Si + 2CO↑ 讨论 ：为什么实验室中盛放碱液的试剂瓶用橡皮 塞而不用玻璃塞（玻璃中有 SiO 2 )? 15 水晶晶体与石英玻璃 石英玻璃是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非 常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理，化学 性能。 1 、耐高温。石英玻璃的软化点温度约 1730 度，可在 1100 度下长时间使用，短时间最高温度可达到 1450 度。 2 、耐腐蚀。除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物 质发生化学反应 , 其耐酸能力是陶瓷的 30 倍，不锈钢的 150 倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都 无法比拟的。 3 、热稳定性好。石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧 烈的温度变化，将石英玻璃加热至 1100 度左右，放入常温 水中也不会炸裂。 4 、透光性能好。石英玻璃在紫外到红外的整个光谱波段 都有较好的透光性能，可见光透过率在 93% 以上。 5 、电绝缘性能好。石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的 一万倍，是极好的电绝缘材料，即使在高温下也具有良好的 电性能。 16 内容提要 ? 硅及氧化硅的基本性质 ? 硅片的生产 17 单晶硅的制造 – 三氯氢硅氢还原法 1. 原料：石英砂，在碳作电极的电弧炉中还原 SiO ? 2 C ? Si ? 2 CO at 2100 K 2 含有铁、铝、铜等杂质，用酸溶解。硅的纯度为 98 ％，称为 “冶金级硅” 2. 硅的进一步提纯通过分馏进行， S i ? 3 H C l ? S i H C l ? H t 6 0 0 K 3 2 a 4 S i H C l ? 2 H ? 3 S i ? S i C l ? 8 H C l a t 1 4 0 0 K 3 2 4 纯度 10 -9 :1, “ 电子级硅”， 多晶硅 3. 单晶硅的生长（拉单晶） 西门子反应器 SiHCl 3 Polycrystalline silicon rod 18 ? Czochralski 法（ CZ 法，直拉生长法） Teal 于 20 世纪 50 年代发明。 1918 年采用类似方法从熔融金属中拉制细灯丝 Crystal puller and rotation mechanism Crystal seed Single crystal silicon Quartz crucible Molten polysilicon Heat shield Water jacket Carbon heating element 19 ingot 质量可达 60kg ， 长度可达 3m 20 21 ? CZ 法主要工艺工程 : 1 ）籽晶熔接 : 加大加热功率，使多晶硅完全熔化， 并挥发一定时间后，将籽晶下降与液面接近，使 籽晶预热几分钟，俗称“烤晶”，以除去表面挥 发性杂质同时可减少热冲击。 2 ）引晶和缩颈：当温度稳定时，可将籽晶与熔体接 触。此时要控制好温度，当籽晶与熔体液面接触， 浸润良好时，可开始缓慢提拉，随着籽晶上升硅 在籽晶头部结晶，这一步骤叫“引晶