无尘车间洁净度标准综述.docVIP

无尘车间工程 /净化设备风淋室 /空气过滤器 无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化 车间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B 。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净 度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格 进行了改版， 其内容主要是以洁净度进行分类。 最新版已成为 No209E ，名称也进行了变更。 No.209E x 3 示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B ，表 8 表示的是美国联邦规格 No.209E 。 X 在日本，相应的规格是 JIS B9920 。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的 颗粒数规定为 10 个，用 Y 表示级别。表 9、图 2 表示了 JIS B 9920 的级别的主要内容。 表 7 美国联邦规格 No.209B 净化间 粒子 室内压力 温度 湿度 气流 照度 级别 粒径 累计粒 Pa 范围 推荐 值 差 高 最 误差 换气次数 um 子数 mmH 2O （℃） （℃） （℃） （ %） 低 % % 100 ≧0.5 100 +13 19.4— 22.2 45 30 （+1.3 ） 25 层流方式 1080- 1000 ≧0.5 1000 以上 ± 2.8 ± 10 0.45m/s -1620 ≧5 10 特 别 特 别 ± 0.1m/s 10000 ≧0.5 10000 时 为 时 为 非层流方 ≧5 65 ± 1.4 ± 5 式 100000 ≧0.5 100000 ≧ 20 次/h ≧5 700 表 8, 美国联邦规格 No.209E 的 洁净度级别分类 级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。 * 级别名称 ** 级别上限值 粒径 粒径 粒径 粒径 粒径 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um SI*** English 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 (m ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) (m ) (ft ) Unit MI 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 -- -- M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 -- -- M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 -- -- M2.5 10 12000 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0 -- -- M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 -- -- M3.5 100 -- -- 26500 750 10600 300 3530 100 -- -- M4 -- -- 75700 2140 30900 875 10000 283 -- -- M4.5 1000 -- -- -- -- -- -- 35300 1000 247 7.00 M5 -- -- -- -- -- -- 100000 2380 618 17.5 M5.5 10000 -- -- -- -- -- -- 353000 10000 2470 70.0 M6 -- -- -- -- -- -- 1000000 28300 6180 175 无尘车间工程 /净化设备风淋室 /空气过滤器 M6.5 100000 -- -- -- -- -- -- 3530000 100000 24700 700 M7 -- -- -- -- -- --283000 61800 1750 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。 粒子直径 /m3=10 M (0.5/d) 2.2，其中， M : SI 单位里的级别名称， D : 粒径（ um） 国际单位（ Systeme International d ’Unites 的缩写） 图 1 ， 209E 的洁净度级别（图略） 图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 （ ）内数值是用 English unit 表示级别。 图 2 ， JIS B 9920 的洁净度级别的上限浓度 表 9，JIS B 9920 主要内容 净化间级别 标准粒径（ um） 累计粒子数 (个 /m3) 1 0.1 1 10 2 0.1 102 3 0.1 103 4 0.1 4 10 5 0.1 105 6 0.1 106 7 0.1 107 8 0.1 108 表 10，美国航空宇宙局规格主要内容 生 物