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《传感器技术》实验指导书 （级微电子专业） 刘海浪 编 桂林电子科技大学 二ＯＯ九年五月 目 录 实 验 一 应 变 式 传 感 器 特 性 测 试 实 验 二 电 感 式 传 感 器 特 性 测 试 实 验 三 霍 尔 传 感 器 应 用 实 验 实 验 四 传 感 器 应 用 的 计 算 机 仿 真 实验一应变式传感器特性测试 一、 实验目的 1 / 20 、掌握金属箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能； 、了解学习全桥测量电路的构成及其特点、优点； 、比较单臂电桥与全桥的不同性能、了解其特点。 二、 实验用器件与设备 、应变式传感器实验台； 、传感器实验箱； 、砝码； 、跳线； 、万用表等。 三、 实验原理 直流电桥原理：在进行金属箔式应变片单臂、半桥、全桥性能实验之前，我们有必要先来介绍一下直流电桥的相关知识。电桥电路有直流电桥和交流电桥两种。电桥电路的主要指标是桥路灵敏度、非线性和负载特性。下面具体讨论有关直流电路和与之相关的这几项指标。 1、 平衡条件 直流电桥的基本形式如图所示。 ，，， 为电桥的桥臂电阻，为其负载（可以是测量仪表内阻或其他负载）。 当∞时，电桥的输出电压应为 ( R1 R3 R2 R3 ) R1 R4 当电桥平衡时，，由上式可得到 ， 或 R1 R3 R2 R4  （） 2 / 20 图直流电桥的基本形式 式（）秤为电桥平衡条件。平衡电桥就是桥路中相邻两桥臂阻值之比应相等，桥路相邻两臂阻值之比相等方可使流过负载电阻的电流为零。 2、 平衡状态 单臂直流电桥： 所谓单臂就是电桥中一桥臂为电阻式传感器，且其电阻变化为△，其它桥臂为阻值 固定不变，这时电桥输出电压≠（此时仍视电桥为开路状态） ，则不平衡电桥输出电压为 R4 R1 R3 R1 E () ＝ R1 R2 1 R4 1 R1 R3 R1 设桥臂比 R2 ，由于△《，分母中 R1 可忽略，输出电压便为 R1 R1 R4 R1 R3 R1 E R2 R4 1 R1 1 R3 这是理想情况，式（）为实际输出电压，由此可求出电桥非线性误差。实际的非线性特性曲线与理想线性曲线的偏差秤为绝对非线性误差。则其相对线性误差为： R1 R1 V0 V0 R1 R1 （） V0 R1 R2 R1 1 n 1 R1 R1 R1 R1 R1 由此可见，非线性误差与电阻相对变化 R1 有关，当 R1 较大时，就不可忽略误差了。 3 / 20 R1 下面来看电桥电压灵敏度 。在式（）中，忽略分母中 R1 项，并且考虑到起始平衡条件 R1 R3 ，从式（）可以得到 R2 R4 ≈ E n R1 （） (1 n) 2 R1 电桥灵敏度的定义为 V0 ≈ V0 n E （） R1 R1 (1 n) 2 R1 R1 当时，可求得最大。也就是说，在电桥电压确定后，当， 时，电桥电压灵敏度最高。此时 可分别将式（）、（）、（）、（）化简为： 1 R1 1 （） E R1 1 1 R1 2 R1 R1 R1 （） R1 2 R1 ≈ 1 E R1 （） 4 R1 1 E （） 4 R1 由上面四式可知，当电源电压和电阻相对变化 R1 一定时，电桥的输出电压，非线性 误差，电压灵敏度也是定值，与各桥臂阻值无关。 差动直流电桥（半桥式） ： 若图中支流电桥的相邻两臂为传感器， 即和为传感器， 并且其相应变化为△和 △，则该电桥输出电压≠，当△△ ，， 时，则得 R1 E R1 R1 上式表明，与 R1 成线性关系，比单臂电桥输出电压提高一倍，差动电桥无非线性误差， 4 / 20 而且电压灵敏度为 E 比使用一只传感器提高了一倍，同时可以起到温度补偿的作用。 双差动直流电桥（全桥式） ： 若图中直流电桥的四臂均为传感器，则构成全桥差动电路。若满足△△△△，则输出电压和灵敏度为 R1 E R1 由此可知，全桥式直流电桥是单臂直流电桥的输出电压和灵敏度的倍，是半桥式直流电桥的输出电压和灵敏度的倍。 四、 实验方法与步骤 (一)、全桥电路性能测量： . 关闭实验台总电源， 将红色线接入或者口， 黄色线接入或者口， 将黑色线接入或者口， 将蓝色线接入或口； 、用导线把全桥电路信号处理模块的口接到信号输出模块的或， 然后用信号线连接信号 输出模块的接口和多通道数据采集模块的通道上。 . 用电源线将基础实验台上多路输出电源引接到传感器开放电路主板上；把主板上的、 ＋、－的电源开关拨到。 . 用万用表测量口的对地电压， 如果该点电压超过， 则调节电阻的阻值以调节放大电路的零点，尽量使输出为零 （可调到以下即可）