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PECVD E2000 HT 320-4
操作规程
用于水平炉设备
版本 1.0
E2000 HT 320-4
安全
6 门:
毒性、可燃材料
有害或刺激性材料
腐蚀性物质
在第三层及更高层上工作时请使用一架带扶手的梯子。(仅用于源瓶)
保持门关闭
危险电压
7 插座板内:
只能连接源瓶子部件。(仅用于源瓶)
3.9 消防
存在爆炸、燃烧、腐蚀和中毒危险!
发生火灾时,可能产生刻蚀、毒性及火焰状气体。请在开始灭火前穿上保护服并戴上防
毒面罩。
发生气体火灾时,请在开始灭火前切断气体供应,因为灭火后可能溢出的可燃气体会带
来爆炸危险。
如果电缆绝缘被毁坏,整个系统中存在触电危险!请在灭火开始前关闭并切断系统的电
源,并采取保险措施防止意外接通。
在较小和通风差的房间内使用 CO2 灭火剂会造成窒息危险!因此,请确保充分通风。
从下面起扑灭火源,首先扑灭主火源,然后扑灭可能的其他火源。
灭火时必须遵守所有法律规定和公司规则。
请只使用合适的灭火器进行带电部件的灭火。请保持至少 1 米的安全距离!
灭火器: 灭火器符合DIN 14 406,
型号C2-222
灭火物质: 二氧化碳(CO2)
2 适用于德国,请遵守当地规定
08.06.13
3-15
China_PECVD_OperatingInstruction_preliminary
E2000 HT 320-4
安全
08.06.13
3-16
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