洁净室设计培训教程 (2).ppt

洁净室设计培训教程;目 录;4 洁净室的消防、节能和环保;4.2 洁净室的节能;5 洁净室设计（案例）;5.2 三个净化工程的典型案例;3 洁净室的基础知识;3.2 洁净室的四大技术要素;3.3 洁净室的分类;一、单向流洁净室;2、单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。 垂直单向流是气流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净???别。但其初投资很高、运行费很高，工程中尽量将其面积压缩到最小，用到必须用的部位。 水平单向流是气流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。;二、非单向流洁净室 1、非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。 ;2、非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。;三、混合流洁净室 ;混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。;四、矢流（对角流）洁净室;矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。;五、各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资 和运行费的比较（仅供参考） 不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标 ;注：表中的送风量、单向流以断面风速表示， 非单向流以换气次数表示。 表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。 表中的初投资包括洁净厂房的围护、 冷冻供应系统、空调净化系统， 不含土建结构和自动控制的投资。 表中的耗电量系指制冷系统和 空调送风系统耗电， 不含电加热和电加湿的耗电量。;3.3.2 按洁净室主要的控制对象洁净室的分类;一、工业洁净室;二、生物洁净室;三、工业洁净室与生物洁净室的差别 工业洁净室与生物洁净室的差别表 ;3.4 洁净室洁净度等级标准ISO 14644-1;空气洁净度等级（N）;注：① 每点应至少采样3次。 ② 本标准不适用于表征悬浮粒子的物理、化学、放射及生命性。 ③ 根据工艺要求可确定1~2粒径。 ④ 根据要求粒径D的粒子最大允许浓度由下式确定（粒径0.1μm~5μm） （个/m3） 式中N为洁净度等级在1~9级中间可以0.1为最小单位递增量插入。 ;二、国标洁净等级标准ISO- 14644与各国洁净度等级标准的比较如下 ;4 洁净室的消防、节能和环保;二、洁净室建筑耐火等级;三、洁净室人员的安全疏散;四、洁净室建筑材料的防火;4.1.2 洁净室的水消防;4.1.3 洁净室电气消防;二、洁净室的消防照明;三、洁净室的消防报警和控制;5、消防报警应进行核实，并应进行如下消防联动控制;4.1.4 洁净室的防排烟;4.2 洁净室净化空调系统的节能;二、洁净室新风处理的热、湿负荷。夏季是降温去湿；冬季是加热、加湿。 三、空气循环时风机（或FFU）的温升和水泵的温升负荷。 4.2.2 洁净室的空调负荷特点 一、高级别洁净室（100级，10级，1级）是垂直单向流洁净室，其送风机的风量非常大，高达400~500次/h换气，而且风机的压头也很高，一般多在1000~1500Pa，因此风机温升的负荷大。按理论计算：在集中送风方式的系统中，风机的温升为1.5℃，仅此一项的负荷就是500~700W/m2；如果采用FFU送风方式，风机温升的负荷也要250~350 W/m2。因此，风机温升的负荷大是其一个负荷特点。;二、服务于微电子和光电子的高级别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。 三、生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高级别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通