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辉有对于光离子氮相关化炉 辉有对于光离子氮相关化炉 PAGE / NUMPAGES 辉有对于光离子氮相关化炉 辉光离子氮化炉 (glow plasmanitriding furnace) 一、概括 离子氮化是在 13.3-1333Pa 的真空容器中使含氮稀疏气体在直流电场中电离， 正离子 轰击金属部件表 面形成氮化层，正离子轰击金属部件表面形成氮化层，以达到表面硬化的 方法。 离子氮化对于球墨铸铁，合金钢，不锈钢，粉末冶金制品，钛合金，高速钢，工 具钢等均有明显氮化成效。 二、设施的构成 离子氮化炉由炉体，输电装置，真空获取系统，供电系统，供气系统，温度测 量五部分构成。 1、炉体由炉盖、筒体、炉底盘和底架构成，此中炉盖、筒体、炉底盘夹层通冷却 水，炉内设有不锈纲，渗铝板双层隔热屏，（ LD-25） 型只有不锈纲一层，炉体上设有双层钢化玻璃察看窗，以供离子氮化过程中 察看炉内状况之用。 2、炉底设有堆放阴极一个，堆放阴极与阴极支承上安置着工作盘，工作盘，工件 可直接放在此盘上。 3 、炉体的真空获取系一致般由两台旋片式真空泵及串有碟阀的管道系统构成， 碟阀 的作用是经过封闭或旋转不一样的角度调动调理抽气 量以保持不一样进行肚量条件下的炉内压强。真空度的丈量用配套 ZDZ-4 型电 阻真空计，从表头可直接读出真空值。 4、炉体的供气管入口设在炉壳筒体上，流量计采纳 701HB型氢定标，氮定标的转 子流量计各 1 只，以便通氮氢混淆气，单用氢流量计 通氨气时，其读数按以下式修正： Q=K Q标 Q 标 转子流量计出厂时的所标定的刻度值； K 修正系数，由缓冲罐压力确立以下表 ； 缓冲罐压 K 2 力 Kg/cm L1.0 0.5 0.4 0.4 5 、热电偶经阴极插入炉内，进行模拟丈量，由控温仪表记录温度。进行 P、I 、D 控温。 三、主要技术参数 项目 单位 25A 50A 100A 真空室容积 0.716 极限真空度 Pa 6.67 压升率 Pa/min 0.133 所配真空泵 台 2x-8 2x-15 2x-15 2x-15 2x-15 2x-30 有效工作室尺寸 cm Φ65× 75 Φ85× 90 Φ110× 120 2 1.25 × 104 2.5 × 104 5× 10 最大加热面积 cm 4 装炉量 t 0.8 1.2 2 最高工作温度 ℃ 650 650 650 外形尺寸 mm Φ1240× 2000 Φ1557× 2350 Φ1875× 2800 冷却水耗量（均匀 值） 3 0.7 0.8 0.9 m 出水口温度 ℃ 55 55 55 炉体总重 t 1.6 2.73 3.55 四、使用条件 1 、室内使用，地面平坦，通风优秀，环境整齐（进而保证向炉壳冲气后炉内清 洁）。 2 、环境温度在 +5~40℃，若是环境温度低于 +5℃，需给真空泵四周加热。 3 、环境相对湿度不大于 85%。 4 、四周无显然震动及高频设施。 5 、四周无导电灰尘，无爆炸性气体，无腐化金属和绝缘的气体。 6 、海拔不超出 1000 米。 7 、自备进水，出水管。 8 、自备供气气源及气管。 五、安装 1、熟读本设施及真空仪表、控温仪表、真空泵的安装使用说明书，熟习相关安装 图纸资料。 2、检查设施成套状况及附件能否齐备。 3 、炉体安装后，方能翻开防气阀，吊开钟罩，清理洁净后，按图纸装置阴极输电装 置和阴极盘支承，而后将钟罩盖好，预备抽真空。 4 、拆去真空泵的皮带，接线试电动机的旋转方向，使之与真空泵护罩上标记的方向 同样，而后将真空泵与炉体经过挂管道连结好。 5 、把真空规管经过橡胶管插入炉底盘下，并按 ZDZ-4 型电阻真空计使用说明书接好 规管连结线（连结线加长会影响读数的正确性）。 6、按进水、出水的标记，接好供水、排水的管路，炉体炉盖和炉底应独自供水和 出水。 7 、炉体自己是阳极，一定按标记靠谱接地，独自埋设地线，其接地电阻不得大于 4 欧姆，不得以接零取代接地。钟罩与底盘须用导线 相连。 8、氨气进嘴设在炉体上，有堵头，待测试过极限真空度和漏气率后方可取走堵头 安装进气管路。 供气流程：氨气瓶— 减压阀— 热分解炉— 流量计— 炉底内 9 、炉体安装应用水平仪找平，不得晃动及倾斜。 六、调整与测试 1 、绝缘电阻的丈量：炉内充入大气，在非真空，空炉条件下用 2500 兆欧表丈量绝缘 电阻，阴极对阳极（对地），阴极对热电偶丝均应 不小于 4 兆欧，丈量时一定断开阴极，阴极及热电偶与电器柜的连线，不然要 破坏元件及仪表。 2、抽气速度的测试翻开 ZDZ-4 电阻真空计的开关，启动真空泵先进行 1~2 分钟后打 开碟阀，抽真空达到 6.67Pa 为止。 3、要经过几次 频频抽气后， 测试压升率， 待炉内压强稳固在 6.67