ZYGO干涉仪使用说明.docx

作 业 文 件 文件编号 版本/ 修订 ZYGO 干涉仪使用说明 页码 1/8 1 目的 为了使员工正确熟悉的使用 ZYGO 干涉仪。本文详细说明了如何使用 ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。 2 范围 本文件涉及用 ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。 3 录取数据 在检验过程中将会生成以下记录： 3.1 干涉图（保存文件名为 *.Tif ），在实时窗口上点击 FILE-SAVE 保存。 3.2 测试数据（保存文件名为 *.Dat ），测试完成后点击 SAVE DATE 保存。 4 Zygo 干涉仪的定义 4.1 应用（ application ） 应用是 ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“ *.app ”的 文件。不同的应用用于不同项目的测量。比较常用的是 GIP.app 用于一般的平 面和球面的测量， GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量， Angle.app 用于平 行角度的测试。 4.2 猫眼像（ cateye ） 又称为标准镜的像。 标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹， 是 透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。 4.3 镜片像 从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生 干涉产生的干涉图形。 包含待测零件的表面或波前信息， 是面形检测的主要信息 来源。 4.4 升降台 可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。 4.5 Align/View 模式 按下控制盒上的 align/view 切换的 2 个模式之一。 align 模式可以看到一 个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点， 一般用于零件对准， 特点是视场较 大。 View 模式是按下控制盒上的 align/view 切换的 2 个模式之一， 可以看到 干涉条纹， 特点是放大率较高， 作 业 文 件 ZYGO 干涉仪使用说明 界面观察条纹。 但是视场较小。 一般在 align 界面对准后在 view 文件编号 版本/ 修订 页码 2/8 4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。 4.7 长度基准 设定图像的长度基准， 因为放大率不同或者屈光度不同， 同样大小的干涉图 所代表的零件大小可能有很大的差异。 设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形 中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。 4.8 掩膜（ mask ） 表明干涉图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、 位置， 也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。 5 职责 主要包括以下几个方面： 5.1 zygo 干涉仪使用和维护部门为品管部。品管部经理负责保证过程实施 所需的培训及资源。 5.2 按照校准计划对设备定期检定。 5.3 指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。 5.4 定期对设备进行保养。 6 操作主要内容 . 6.1 开机 依次开启 ZYGO 显示器电源，机箱控制面板上电源按钮： MASTER 、 MONITOR 、AUX1 、AUX2 ，以及干涉仪主机箱右侧下方 POWER 。 6.2 运行程序 进入 Windows 后，双击桌面上的 Metropro.exe （如图一）操作软件， 运行程序，进入 ZYGO 测试操作桌面。启动完成后会自动进入 GPI.app ，如果 没有， 关闭当前的窗口， 待其缩小为按钮后， 在应用选择窗口中点击相应的应用。 图一 6.3 平行度测试 作 业 文 件 文件编号 版本/ 修订 ZYGO 干涉仪使用说明 页码 3/8 主要测试步骤如下： 6.3.1 按监视器遥控器上的显示切换键（ ALIGN/VIEW ），使监视器处于排 列状态。 扭动参考反射镜上方的调节旋钮， 调整镜面方向， 使得反射镜反射回的 最 亮 光 斑 与