合金薄膜压力传感器的应用讲课稿.docxVIP

传感器原理及工程应用（论文） 合金薄膜压 力传感器的应用 学生姓名： 指导教师： 所在学院： 专 业： 学 号： 2011 年 12 月 目录 TOC \o 1-5 \h \z \o Current Document 前言 I I \o Current Document 合金薄膜压力传感器工作原理 1 \o Current Document 合金薄膜高温压力传感器研究现状 2 \o Current Document 镍铬系合金薄膜压力传感器 2 \o Current Document 铂钨合金薄膜压力传感器 3 钯铬合金薄膜应变计 4 \o Current Document 多功能传感器( MULTIFUNCTIO)N 7 \o Current Document 多功能传感器的执行规则和结构模式 7 \o Current Document 多功能传感器的研制与应用现状 7 \o Current Document 无线网络化( WIRELESS NETWOR)KE.D 10 \o Current Document 传感器网络 10 \o Current Document 传感器网络研究热点问题和关键技术 10 \o Current Document 传感器网络的应用研究 11 \o Current Document 结论 13 \o Current Document 参考文献 14 、八 、- 前言 咨询公司INTECHNO CONSULTING感器市场报告显示，2008年全球传感 器市场容量为 506 亿美元，预计 2010 年全球传感器市场可达 600 亿美元以上。 调查显示，东欧、亚太区和加拿大成为传感器市场增长最快的地区，而美国、德 国、日本依旧是传感器市场分布最大的地区。 就世界范围而言， 传感器市场上增 长最快的依旧是汽车市场，占第二位的是过程控制市场，看好通讯市场前景 , 一 些传感器市场比如压力传感器、 温度传感器、 流量传感器、 水平传感器已表现出 成熟市场的特征。流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大，分别 占到整个传感器市场的 21%、19%和 14%。传感器市场的主要增长来自于无线传感 器、MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统）传感器、生物传 感器等新兴传感器。 其中，无线传感器在 2007-2010 年复合年增长率预计会超过 25%。 目前，全球的传感器市场在不断变化的创新之中呈现出快速增长的趋势。 有 关专家指出， 传感器领域的主要技术将在现有基础上予以延伸和提高， 各国将竞 相加速新一代传感器的开发和产业化， 竞争也将日益激烈。 新技术的发展将重新 定义未来的传感器市场， 比如无线传感器、 光纤传感器、 智能传感器和金属氧化 传感器等新型传感器的出现与市场份额的扩大。 1合金薄膜压力传感器工作原理 合金薄膜压力传感器一般采用溅射、蒸镀等方法把合金淀积在弹性膜片上， 薄膜应变层通过感受膜片的应变而产生相应电阻变化， 从而完成非电量到电量的 转换。其一般结构如图1所示。 图1 合金薄膜压力传感器的优点是结构紧凑， 散热良好，尤其突出的是利用薄膜 沉积代替了传统粘贴式应变片的胶接，从而克服了应变灵敏系数低及滞后、蠕变, 稳定性差等缺点，能满足恶劣环境下压力测量的要求。 2合金薄膜高温压力传感器研究现状 目前对高温压力传感器的研究主要包括：多晶硅、单晶硅、 SOS （蓝宝石上 硅）、SiC等半导体高温压力传感器，金刚石薄膜、合金溅射薄膜高温压力传感 器，光纤高温压力传感器等。半导体传感器灵敏度高，芯片易于批量制作、成本 低廉，其缺点是温度特性较差，最高使用温度一般为 200~350 C；且半导体传 感器一般采用单晶硅作为衬底，超过 500 C后，其热可塑性问题无法解决一一 —这些都限制了半导体压力传感器在更高温环境如火箭发动机燃烧室压力测量 （＞600 C）中的使用。金刚石的某些特殊性质 （如化学上的惰性） 以及极大 的压阻效应、在高温下仍具有良好的压阻特性使其成为制作高温压阻型压力传感 器的极佳材料，但目前对金刚石薄膜的理论研究与实际应用尚存在较大差距， 如 高温有氧环境下金刚石易表面石墨化， 金刚石与金属间难以形成理想的欧姆接触 等。光纤本身耐高温，制作光纤高温压力传感器是可行的，但其应用较为复杂、 且对测量环境的要求较高。相对于其它传感器，合金薄膜传感器虽然应变系数较 低，但具有精度高、稳定性好、耐腐蚀、温度特性较好且应用温度范围较宽等一 系列优点，这些优点能够保证合金薄膜压力传感器在高温燃气的恶劣环境中进行 测量。 2.1镍