传感器及检测技术2.4压电式传感器项目二测量力和压力-压电式传感器.pdfVIP

* 压电式传感器 1. 压电效应 某些电介质如石英、钛酸钡等， 在沿一定方向上受到外力的作用而变 形时，其内部会产生极化现象，在它 的两个相对表面上出现等量的正负电 荷。当外力撤去后，又会恢复到不带 （a）打火机 （b）压电键盘 压电效应的应用 电的状态，这种现象称为压电效应。 当作用力的方向改变时，产生的电荷的极性也随之改变。 如果在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质又会发生 机械变形，电场去掉后，电介质的变形也随之消失，这种现象称 为逆压电效应，或称为电致伸缩现象。 （a）蜂鸣器 （b）双晶超声波探头 逆压电效应的应用 在超声检测中使用的探头，是利用材料的压电效应实现电能、声能转 换的换能器。探头中的关键部件是晶片，晶片是一个具有压电效应的 单晶或者多晶体薄片，它的作用是将电能和声能互相转换。 压电晶片处在电场中，在电场力的作用下发生形变，在交变电场力的 作用下，发生变形的效应，称为逆压电效应，也是发射超声波的过程。 超声波是机械波，机械波是由振动产生的，超声波发现缺陷引起缺陷 振动，其中一部分沿原路返回，由于超声波具有一定的能量，再作用 到压电晶体上，使压电晶体在交变拉、压力作用下产生交变电场，这 种效应称为正压电效应，是接收超声波的过程。正、逆压电效应统称 为压电效应。 能产生压电效应的电介质被我们称为压电材料或者压电元件，依据压电 效应的原理工作的一类传感器被称为压电传感器。 实验证明，在晶体的弹性限度内，压电材料受力后，产生的电荷Q和 所施的力F之间的关系是： Q dF （2-9 ） 式中：d—压电材料的压电系数 2.压电材料及特性 （1）石英晶体 石英晶体是最常用的压电晶体之一。 它理想的几何形状为正六 面体晶柱。 石英晶体 （2）压电陶瓷 压电陶瓷具有铁磁材料磁畴结构类 似的电畴结构。 当压电陶瓷极化处理后，陶瓷材料 内部存有很强的剩余场极化。 当陶瓷材料受到外力作用时，电畴 的界限发生移动，引起极化强度变 化，产生了压电效应。 经极化处理的压电陶瓷具有非常高 压电陶瓷 的压电系数，约为石英晶体的几百 倍，但机械强度较石英晶体差。 压电陶瓷与石英晶体不同，前者是人工制造的多晶体压电材料，而后者 是单晶体。 压电陶瓷在未进行极化处理时，不具有压电效应；经过极化处理后，它 的压电效应非常明显，具有很高的压电系数，为石英晶体的几百倍。压电 陶瓷制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压 电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系 压电陶瓷（如BaTiO3等）。 压电陶瓷极化过程示意图 （3）压电薄膜 高分子压电材料是一种近年来 发展较快的新型压电材料。具有压电 常数较高的特点，如聚偏二氟乙烯 (PVF2或PVDF)的压电常数比压电陶 瓷还高十几倍，而且非常柔软，耐冲 击、弹性柔软性好，可以加工成几微 米厚的薄膜，也可以弯曲成任何形状。 压电薄膜 3.压电式传感器的等效电路 压电元件受到外力作用后，压电元件上聚集正负电荷的两个表面类似 于电容器的两个极板，所以压电元件也可看成是一个以压电元件为介质 的电容器，其电容量为   S Ca 0 r （2-10 ） d ε为真空介电常数；ε为压电材料