传感器及检测技术5.3电容式传感器项目五测量位移-电容传感器.pdfVIP

* 电容传感器 电容式传感器是利用各种电容器将被测物理量转换成电容量的变 化，再经测量转换电路转换为电压、电流或频率信号。 电容式传感器具有结构简单、分辨率高、动态响应快、工作可靠 等特点，能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下实现对液位、物位、 厚度、加速度、湿度、压力、位移等多种参数的检测。 1.电容式传感器的工作原理 A ε —极板间介质的介电常数；    ε = ， 为真空中的介电常数 d 0 r 0 r 为相对介电常数 ε 图5-13 平行板电容器 A —两平行板所覆盖的面积； d —两平行板之间的距离； S   S C — 电容量，单位为F； C 0 r d d 平行板电容器的电容与面积、介电常数成正比，与极板间距成反 比。故电容传感器可分为：变极距型、变面积型和变介电常数型三种。 （1）变极距型 △d 变极距型电容传感器工作时， 极板的面积（S）和极板间的介 d 质（ε）保持不变，被测量的变 化使电容器的极板间距（d）发 生改变，从而使电容量C发生变 图5-14 变极距式电容传感器结构图 化。变极距型电容传感器适合测 量较小的位移或差压等。 如图为变极距型电容传感器，由定极板和动极板组成。定极板保持不动， 动极板（与被测物体相连）可以上下移动，引起两极板之间的极距发生 变化，从而引起电容量的变化。 设电容的极板面积，初始的极板间距是 ，极板间的介质为空气 （ 0 0 ），电容器的初始电容为： 0 = 0 0 当动极板移动，使极板的间距减小∆后，电容器的电容量也随之改变。 如果忽略电容器的边缘效应，这时电容器的电容量 为： 0 = −∆ 0 电容器的电容增量为： ∆ ∆ 0 ∆ = − = =