化学品供应系统简介.pptVIP

运转操作注意事项(四) 熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理 原则1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命2.减轻患者病痛，促使其能早日康复 呼吸道吸入1.离开污染区(避免自己或其它人再受污染)2.喊叫，打电话求救，请求支持3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医 消化道食入1.喊叫，打电话求救，请求支持2.催吐(若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐)3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医 眼睛接触1.迅速翻开眼睑，清水轻洗15分钟以上，立刻送医 * 学习文档 学习文档 Chemical Supply System化学品供应系统简介 主讲人： * 学习文档 课 程 大 纲 系统之目的 化学品之种类与用途 系统之基本要求 化学品供应质量要求 系统之流程图 CDU之流程图 TEE-BOX之构造 VMB之构造 SAMPLING BOX之构造 系统设备之材料要求 运转操作注意事项 * 学习文档 系统之目的 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件 * 学习文档 化学品之种类与用途(一) 酸性: 腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4... 毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE... 碱性:NH4OH,KOH,Developer... 有机溶剂 易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液... 腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS... 氧化性:HNO3,H2O2... * 学习文档 化学品之种类与用途(二) * 学习文档 系统之基本要求 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品 兼容 微粒子控制：过滤器循环过滤 满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、 H3PO4 自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化 取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量 取样分析 泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO) 系统诊断：Pump、Filter 、Valve运转时数 维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能 化学品用量统计 * 学习文档 化学品供应质量要求 * 学习文档 系统之流程图(一) CCB Storge Tank12m3 CDU VMB T T T VMB VMB VMB Tool-1 Tool-2 Tool-3 Tool-4 6m3 Tote1m3 200L Drum 化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank 适合使用量较大之化学品,如H2O2,H2SO4等 适合使用量中等之化学品,如HF,H3PO4等 适合使用量较小之化学品,如BOE,HNO3等 将化学品经循环过滤,再经N2或Pump加压输送至有需求之生产机台内 将化学品经管路分配至不同生产机台 S 可依实际用量需求选择使用 Tee Box Sampling Box * 学习文档 系统之流程图(二) Provided By Systems Chemistry,INC FMCS OCP HUB CDU VMB Tool Tee Box * 学习文档 系统之流程图(三) TOOL机台 OCP SCADA Computer HUB CDU T-BOX 主管路 GN2 加强讯号 循环过滤 25”后 供酸 启动CDU 循环过滤后，同时由OCP供应GN2，打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOL CHEMICAL LINE GN2 LINE SIGNAL LINE 供酸 VMB 泄漏警报 * 学习文档 系统之流程图(四) Tool Side OCP Side Trouble Ready Stop Request Electric Signal Interface Between BCDS Tool EMO 1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP．2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应 若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品． +24V +24V +24V * 学习文档 CCB之流程图 Provided By NOVA GN2inlet StorageTank 充填槽车 CDU * 学习文档 CDU之流程图(型一) Provided By NOVA Outlet Pump TransferFilter SupplyFilter GN