超级洁净厂房通风空调系统设计方案.doc

超级洁净厂房通风空调系统设计方案 1．引言随着我国信息技术的飞速发展，近年来大规模、高级别的洁净厂房（或称为超级洁净厂房）纷纷建造。这种厂房的特点是中心为大面积的洁净生产区域（或称工艺层），区域内布置特定工艺区和中央走廊，关键处设置高洁净度的产品走道和微环境装置。上层的巨大空间用于布置送风管网或用作送风静压箱；其下层准洁净区域（或称设施层）是用来安排从洁净区移出去的设备、工艺设施以及中央公共设施的管网；在设施层和工艺层之间设有回风空间；洁净区域周围设置竖井用于回风。由独立新风处理系统，集中将新风直接处理到室内状态的露点，然后进入循环风系统。循环风通道中设置干式冷盘管，处理室内显热负荷。所不同的只是循环风系统的设计思路，对此相应有不同的解决方法。洁净厂房的主要支撑系统是中央公用设施，往往集中布置洁净区域的周围或设置在独立的专用大楼中（Central Utility Building）。另外还设置了安全系统，它包括火灾的检测及预报系统；HCF，CO2气体灭火及喷水系统；烟雾检测和排烟系统，化学品的检测，紧急状况的控制系统、储存系统。由于关键的工艺生产要求以及不断地更新换代对环境控制十分苛刻，特别是系统的可靠性、灵活性与安全性，设备容量与节能，余量与备用以及环境、卫生和安全等均有严格要求。为满足关键生产要求，在工艺层中设置的微环境中可达到非常高的洁净度（0.1μm的1级），其他生产区域的洁净度级别也须达到1000级或更高。其技术核心是采用单向流的气流技术（排除尘埃污染的能力）以及隔离技术（隔离外界对工艺环境的影响）。单向流流速一般为0.35m/s。为响应耗资少、用时短地实现工艺改造和更新，特别强调送风模式的灵活性、可靠性和安全性，体现在任何时候都可以简单地根据工艺分布和工艺环境最新要求进行变更。由于工艺更新很快，工艺设备的生产负荷不但所占比例大，而且变化也频繁。因此设计概念以及相应的送风系统模式特别注意系统的余量和备用。2．洁净厂房的通风空调系统模式近年来洁净厂房出现三种系统模式，主要的区别在于循环风系统，通常有分散式循环风机组（Recirculating Air Handing Unit）、风机竖井（Fan Tower Unit）和风机过滤器机组（Fan-Filer Unit简称FFU）。笔者曾在德国某微电子设计咨询公司工作过一年，对这三种概念的送风模式作过分析。本文主要对我国目前大量采用的风机过滤器机组模式的特性，以及与其它两种送风模式作进一步分析与比较。2．1 分散式循环风机组（Recirculating Air Handing Unit）这种循环风机组是分散布置的组装式空气处理机组，典型为干式冷盘管与离心风机组成。直接安装在洁净工艺层的上部，回风竖井布置在大楼的两侧，离心风机能够产生足够的压头（650Pa左右）来满足气流流经回风通路上各个部件所需要的静压，也可大大延长末端过滤器的寿命。但是当总流量增加太大时，风机尺寸、成本、风机产生的噪声也相应增大。送风静压箱设置在送风机组和过滤器顶棚之间，使得送风静压箱内的压力仍高于洁净工艺层。2．2 风机竖井（Fan Tower Unit）可利用大楼两侧（或隧道）空间安装循环机组，则轴流风机最为合适。并将消声器结合一起，相当紧凑高效，因此也很经济。由于屋架不必承受循环机组，负载可减轻，建筑结构也合理。在屋顶和过滤器吊顶之间布置送风静压箱，送风静压箱内的压力高于洁净工艺层，为此不得不采用液槽密封。即在顶棚格栅中的液槽内灌入了非牛顿液体的密封胶，周圈带刀口的空气过滤器插入密封胶中，造成了与液式顶棚格栅之间的气密性密封。安装与变更空气过滤器（或盲板）也较方便。轴流风机的优势是能够以相对较低的静压高效地输送更多的空气，并可方便、高效地变化风量。它所产生的静压与流量比完全符合典型的高级别洁净室运行工况。2．3 风机过滤器机组（Fan-Filer Unit简称FFU）典型的风机过滤器机组由内装式离心机、消声装置和高效过滤器（HEPA或ULPA过滤器）所组成，紧凑组装在一金属盒里。在洁净工艺层的顶棚上可以随意按照工艺要求直接设置风机过滤器机组（或盲板），以形成不同级别的洁净区。风机过滤器机组用于循环风循环十分简便，但是不能产生太大的静压。空气通过机组内部的消声段和末端过滤器后几乎没剩下多少动力来克服外部系统的阻力。以上三种概念都具有很高程度的灵活性，在洁净厂房中均得以普遍采用。可使中间工艺层能够十分方便接受高洁净度的空气，变更洁净区域。系统回风借助于下一层空间进行，所有设施管道可以方便地根据设备变更或移位来配接，所有潜在污染源都能够封闭或排除，以防止交叉污染。以下将对这三种模式进行分析与比较，重点在于怎样使整个系统降低造价、节省运行费用以及提高能量利用效率。3．三种送