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第五章 光衍射技术;本章大纲;激光衍射计量原理; 衍射最早用于光谱测量，70年代才形成一种非接触测量技术，1972年，加拿大国家研究所提出了激光衍射测试方法，利用激光衍射条纹的变化来精密测量长度、角度、轮廓的一种全场计量方法。其原理建立在单缝衍射基础上。;单缝衍射 夫琅和费衍射的计算比较简单，特别是对于简单形状孔径的衍射，通常能够以解析形式求出积分，并且夫琅和费衍射是光学仪器中最常见的衍射现象。激光衍射测量的基本原理是利用激光的夫琅和费衍射。 ①夫琅和费衍射实验装置;单缝衍射 ②单缝夫琅和费衍射强度分布 用振幅矢量法或衍射积分法都可以得到缝宽为b的单缝夫琅和费衍射光强分布表达式： 其中 其分布如图示。;二、计量原理;当观察屏E3处在较远的位置上，用透镜才能观察到的衍射现象则称远场衍射。按几何光学的观点。并设成像透镜是理想的，没有像差时，点光源S在E3上的像应成点像。但实际上点像扩大了，而且周围还分布着亮度不大的圆环。这就是夫朗和费衍射。 ;利用被测物与参考物之间的间隙所形成的远场衍射可以实现测量，如图示。 ;观察屏E上由单缝形成的衍射条纹，其光强I的分布由物理光学知道有: ;三、基本公式;在E2平面上任一点P的光强是;因此，对矩形孔，在E2平面上的衍射像有两列，呈十字格线分别，如图（5-4a）所示。每一列的光强分布，如图（5-4b）所示。两个方向上光强的大小按式（5-3），可写出;sinc函数，用sinc(x)表示，有两个定义，有时区分为归一化sinc函数和非归一化的sinc函数。它们都是正弦函数和单调递减函数 1/x的乘积：;在这两种情况下，函数在 0 点的奇异点有时显式地定义为 1，sinc 函数处处可解析。;设 （缝宽），则衍射条纹的光强分别按式（5-6）为;因为 ，对暗条纹则有;最后写成;单缝衍射 单缝衍射测量的分辨力、准确度和量程 测量分辨力—能分辨的最小量值： 测量合成标准不确定度 测量量程一般为0.01~0.05mm。 ;四、技术特点;衍射计量不足之处 ;§5-2 激光衍射计量技术 ;一、基本方案及其分析 ;一、基本方案及其分析 ;被测物体 ;确保最大的灵敏度，得到???佳测量位置的θ坐标值为 ;图中曲线表示探测器置于A点或B点的信号变化。当用一个探测器测量时，，其位置应放在灵敏度和动态范围最好的A点或B点进行。但在用一个探测器的情况下，激光功率的不稳定性一级被测物体有横向位移时，对测量结果有很大影响。因此，可能认为放在A和B点的两个探测器用差值信号可以改善测量情况，但是从图5-6的曲线C来看，灵敏度是有保证的，但仍然不能消除这种基本方案的缺点-----激光功率不稳定一级被测物在光束中位移造成的测量误差。因为，衍射光强变化时C的斜率变化。 ;这种测量方法的灵敏度是;(1)测量灵敏度随被测尺寸的减小而很快增加，而且衍射级次大更为有利;衍射角与被测物尺寸w的关系取一级近似，则 ;间隙测量法是基于单缝衍射原理。;a)比较测量 b）测量轮廓 c）测量应变 间隙测量法的应用;激光器;由公式（5-11） 来计算w，;y;亮纹的严格位置;亮纹位置;结果说明;应用举例;传感器原理及应用;三、反射衍射法;暗条纹 ;代入整理得;三、 反射衍射测量法 θ角一般是任意的，测得某一入射角θ位置的两个xn值代入公式，联立解出θ值和w值。 从实例可见，该法易于实现检测自动化，其检测灵敏度可达2.5～0.025μm。;四 分离间隙法 在实际测量中，常会遇到组成狭缝的两棱边不在同一平面内，即存在一个间隔w。此时衍射图形出现不对称现象。测两次，联立求解。;P1点出现暗纹的条件 ;由上两式可计算分离间隙衍射时的缝宽公式;传感器原理及应用;传感器原理及应用;五、 互补测量法;传感器原理及应用;传感器原理及应用;六、 爱里圆测量法 爱里圆测量法是基于圆孔的夫琅和费衍射原理，可进行微小孔径的测量。 ;七、量程精度与最大量程 ;2. 测量精度 ;说明 ;八、实际的激光衍射测量系统 ;6）显示部分——指示出被测尺寸的数量。 ;光电探测器P4接收基准光源5的光强信号，用以定标。;激光束;激光器 ;测定w的误差△w，由式（5-46）知主要由R及L的测量误差决定，近似式是 ;由式(5-47)知，选定足够大的R，从理论上说，可以获得很高的精度。但实际上增大距离R时，条纹平面上的照度迅速下降，同时L增大，衍射极大光强的分布范围增大，这都增加测定条纹中心值的困难，造成△L的增大。 ;这种情况下，△L造成的被测尺寸误差是 ;传感器原理及应用;传感器原理及应用;