玻璃与晶体交替排列的自组织周期性微纳结构的制备方法与流程.docxVIP

PAGE PAGE 1 玻璃与晶体交替排列的自组织周期性微纳结构的制备方法与流程 本发明涉及超快激光微纳加工技术领域，特殊涉及一种玻璃与晶体交替罗列的自组织周期性微纳结构的制备办法。背景技术：超快激光微纳加工技术是一种利用脉宽微小，峰值能量极高的激光脉冲举行精密微纳加工的先进创造技术。该技术主要通过强场激光与物质的互相作用，诱发一系列物理化学反应，同时利用材料对超快脉冲的非线性汲取，突破光学衍射极限，终于实现特征尺寸达到纳米级的超精密光学微加工。周期性微纳结构在光通讯、光存储、光调控以及表面增加等诸多领域都有广泛的应用，并在将来的量子计算、量子通信领域有极大的开发潜力。然而目前大多数周期性微纳结构都只能在物质表面生成，透亮?????介质内部的周期性微纳结构类型单一，加工效率较低，适合制备内部微纳周期结构的介质材料十分有限(仍然以石英玻璃为主)，难以适应微纳光子器件的功能化、集成化和日益增强的复杂性需求。技术实现要素：为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种玻璃与晶体交替罗列的自组织周期性微纳结构的制备办法，实现了一种偏振依靠的周期性微纳结构的高效率制备，拓展了可用于周期性微纳结构成形的功能材料。为了实现上述目的，本发明采纳如下办法过程：s1：利用悬浮法制备样品，所述的样品三元玻璃35la2o3-xta2o5-(65-x)nb2o5(5＜x＜45)或者35la2o3-xtio2-(65-x)nb2o5(30＜x＜60)，其中x表示摩尔百分比(mol.％)；s2：将样品固定在位移平台上，超快激光器发出超快激光束，超快激光束经快门、格兰泰勒棱镜和半波片照耀到样品上，并聚焦到样品内部；s3：让激光束静态照耀样品一段时光，当发觉聚焦处样品受超快激光束激发浮现可见光时，开头照耀时聚焦处样品受超快激光束激发浮现红外光再逐渐变成可见光，然后启动位移平台，使样品根据设定的路径和运动参数相对于激光束做运动，在激光束的聚焦处诱导生成偏振依靠的周期性微纳结构。通过光路系统中的快门来控制激光的通过与阻断，通过光路系统中的格兰泰勒棱镜和半波片来控制激光束的偏振方向，通过光路系统中的光衰减器将激光束的平均功率调节为150-300mw。位移平台带动样品做平面扫描运动，使得激光束在样品内部的聚焦处相对于激光束做平面扫描运动。通过位移平台带动样品做不同的运动生成不同图案的周期性微纳结构。采纳超快激光微纳加工创造系统，超快激光微纳加工创造系统包括计算机、超快激光器、快门、格兰泰勒棱镜、半波片、光衰减器、第一全反射镜、其次全反射镜、二向色镜、物镜、样品、位移平台、显微照明器、第一偏振片、其次偏振片、目镜和ccd相机；超快激光器的输出超快激光束依次经过快门、格兰泰勒棱镜、半波片、光衰减器后入射到第一全反射镜，再依次经第一全反射镜、其次全反射镜和二向色镜的依次反射后通过物镜照耀到样品并聚焦于样品内部；样品固定置于位移平台上，显微照明器位于样品下方，显微照明器向上发出可见光束，可见光束经第一偏振片入射到样品，透过样品的可见光束和超快激光束照耀到样品激发出的可见光一起经二向色镜透射，然后再依次经其次偏振片、目镜后入射到ccd相机被探测接收；同时计算机分离与超快激光器、快门、位移平台、ccd相机的控制端口衔接。所述的样品通过夹具固定在位移平台上。所述的第一偏振片和其次偏振片的偏振方向相垂直，由第一偏振片和其次偏振片构成了交错偏振片。所述自组织周期性微纳结构在制备红外光衰减器中的应用。本发明具有如下有益效果：在制备样品11时，将ta2o5和tio2加入到la2o3-nb2o5玻璃体系中，制成la2o3-ta2o5-nb2o5玻璃和la2o3-tio2-nb2o5玻璃，因为ta和ti元素的引入，使得样品11的能力大大增加，让la2o3-nb2o5玻璃体系具备了生成周期性微纳结构的能力。ta和ti元素的加入，还可以充实la2o3-nb2o5玻璃体系的热稳定性，提升了折射率，同时降低了色散。本发明利用超快激光与物质互相作用引发的非线性过程实现自组织微纳结构的制备，因此该制备过程能够突破衍射极限，实现纳米级加工，极大的提高了微结构的成形精度。本发明利用超快激光诱导la2o3-ta2o5-nb2o5和la2o3-tio2-nb2o5玻璃内部挑选性析晶，并利用干涉场形成玻璃与晶体交替罗列的周期性微纳结构，这种微纳结构是自组织生成的，不需要设计复杂的运动路径，只需要位移平台12做容易的直线运动即可，极大简化了制作工艺。本发明能够通过调整光路系统中的格兰泰勒棱镜4和半波片5来转变入射激光的偏振方向，进而转变自组织周期性微纳结构的慢轴取向，实现了微纳结构的外部控制，这种特性在光存储中有潜在应用。本发明首次