FCCL镀铜试验计划.docVIP

FCCL镀铜试验计划 现有试验基础 1、2-6μm厚度产品外观较好，6μm产品外观存在斑迹或白点缺陷； 2、电镀次数越多，斑迹缺陷出现的几率越多； 3、电镀次数越少，斑迹缺陷出现的几率越少，但白点会多； 4、目前试验最好的工艺匹配是2μm打底（10m/h），再一次性加厚10μm（2m/h），外观缺陷较少。 下步试验计划 试验重点在外观缺陷的解决，在现有设备基础上，通过速度、电流密度、电镀次数的优选匹配，完成2-12μm的样品试制。 恒定速度（10m/h）和电流密度（1.5A/dm2），2μm厚度递加，对比各厚度外 观情况； 镀片出电镀液面位置，增加镀液喷淋装置；3级与1级水洗之间仿4#镀镍线 增加高位喷淋水洗装置，减少空气暴露时间。 2.1 重复试验方案1，对比各厚度外观情况； 2.2 恒定电流密度（1.5A/dm2），试验1次性电镀完成各厚度的外观情况； 2.3 恒定电流密度（1.5A/dm2），试验2次性电镀完成各厚度的外观情况（2μm+余厚）； 2.4 降低电流密度（1.0A/dm2），重复2.2和2.3试验方案，对比各厚度外观情况； 钛篮多套一组钛篮袋或更换目数更密的钛篮袋，减少阳极铜粉进入镀液；内循环棉芯过滤改为滤纸过滤，增加过滤精度，提高镀液纯净度。 3.1 试验方案1,2中，选择外观最差的方案进行试验（12μm厚），对比外观情况； 3.2 试验方案1,2中，选择外观最好的方案进行试验（12μm厚），对比外观情况； 电镀4#线1级水洗槽改造为电解钝化槽，摸索电解钝化工艺参数。