扫描电镜实验报告.docxVIP

。 实验报告 学院：理学院 专业：应用化学 姓名 邢云 学号 201120101025 实验组 实 验 指导教师 成绩 时 间 实验 项目 扫描电镜 名称 实 （1） 结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电 验 镜结构及原理的了解。 目 （2） 选用合适的样品， 通过对样品形貌的观察， 了解扫描电镜的应用。 的 实 验 （1） 了解扫描电镜结构及基本原理 要 （2） 掌握扫描电镜基本操作流程 求 扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透 实 镜汇集成细小的电子束，在试样表面进行扫描，激发出各种信息，通过 验 对这些信息的接收、放大和显示成像，以便对试样表面进行分析。 原 扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统。真空系 理 统主要包括真空泵和真空柱两部分。电子束系统由电子枪和电磁透 -可编辑修改 - 。 镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定 的电子束用以扫描成像。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成 束，所以在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。通 常会装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜为真空柱中最下方的一个电 磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表） 。电子经过一系列电 磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背 散射电子、欧革电子以及 X 射线等一系列信号。所以需要不同的探 测器譬如次级电子