利用激光加工制作超微粒的技术.docVIP

利用激光加工制作超微粒的技术 将功能材料的尺寸微化，使之具有宏观大小(物体)所不能发挥的物理性能和功能的微粒叫作超微粒。以发光功能为例，非常难发光的N族元素(Si,Ge)因为是间接跃迁型半导体，所以如果粒径在几纳米以下，室温下也会显示强可见光。 1 前言 制作功能性陶瓷时，如将粒径几十纳米的超微粒置于高度的反应控制条件下，也能制出低阻抗性等非常好的非化学计量结构的化合物。但由于超微粒表面暴露原子的比率大(粒径5nm时为40%)，故对杂质的混入和晶体缺陷的产生非常敏感，向高功能元件发展有困难。因为激光加工是典型的利用局部激励光束聚光点的冷壁法加工，故可实现清洁的生成环境，最适于制作对杂质混入和缺陷产生敏感的超微粒。特别是利用激光切割或激光蒸发现象的物理气相生长法，由于在激光聚光点形成高温场，适于制作高融点材料。硅(Si)是当前电子产业的主要材料。利用激光把Si制成纳米大小的超微粒子，并赋予可见光性能，再通过控制粒径和分散状态的几何结构，可以调节发光波长等功能。从某种意义上说，暗示了结构控制型量子功能元件得到证实。就钨(W),钮(Ta)等高融点金属来说，希望这些金属在集成电路和多层基板方面也能作为一种耐迁移性、高传导性或构成氧化物时的高介电性材料。本文着眼于此领域，开发了一种利用激光蒸发法制作加工高融点金属超微粒的技术。 2 硅超微粒的制作和评价 首先介绍利用脉冲激光切割