第七章压电亩式传感器.pptVIP

2、钛酸钡陶瓷的压电效应 钛酸钡陶瓷具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。 在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它 们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极 化强度为零，见图（a）。 ; 在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极 化强度对外界的作用。; 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。因此，原来吸附在电极上的自由电荷，有一部分被释放，而出现放电荷现象。当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大。这种由机械效应转变为电效应，或者由机械能转变为电能的现象，就是压电效应。 ; 由此可见，钛酸钡陶瓷所以具有压电效应，是由于陶瓷内部存在自发极化。这些自发极化经过极化工序处理而被迫取向排列后，陶瓷内即存在剩余极化强度。如果外界的作用（如压力或电场的作用）能使此极化强度发生变化，陶瓷就出现压电效应。此外，还可以看出，陶瓷内的极化电荷是束缚电荷，而不是自由电荷，这些束缚电荷不能自由移动。所以在陶瓷中产生的放电或充电现象，是通过陶瓷内部极化强度的变化，引起电极面上自由电荷的释放或补充的结果。; 从晶体上沿轴线切下的一片平行六面体称为压电 晶体切片，如图所示。 若晶体切片受到x方向的压力Fx作用，晶片将产生 厚度变形，并发生极化现象,在x方向所产生的电荷qx 与作用力Fx成正比，即 在Y轴方向施力时,产生电荷大小为: ; 压电常数dij有两个下标，即i和j ，其中 i = 1,2,3 表示在垂直于x,y,z轴的晶片表面即x,y,z面上产生的 电荷。 下标j = 1,2,3,4,5,6， 其中j = 1,2,3分别表示晶 体沿x,y,z轴方向承受的正 应力，j = 4,5,6则分别表 示晶体在x,y,z面上承受的 剪切应力。; 从式（7.1）中可以看出切片上产生的电荷多少与 切片的尺寸无关，即qx与Fx成正比。电荷qx的符号由晶 体受???还是受拉而决定，如图 (a)、(b)。 从(7.2)可看出y轴方向受力后，切片上产生的电 荷与切片的尺寸有关，qy与Fy成正比，电荷qy的符号由 晶体受压还是受拉而决定，如图 (c)、(d)。; 推广到一般情况，即石英晶片在任意的多方向的 力同时作用下的全压电效应，可由下列压电方程表示：;石英晶体;压电效应;石英晶体切片受力图;图7.3;7.3 压电式传感器的等效电路; 当两极板聚集异性电荷时，则两极板呈现一定的电 压，其大小为 因此，压电传感器可 等效为电压源Ua和一个 容器Ca的串联电路，如 图(a)；也可等效为一个 电荷源q和一个电容器Ca 的并联电路，如图(b)。; 压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量 电路相连接，因此还须考虑连接电缆的等效电容Cc， 放大器的输入电Ri，输入电容Ci以及压电传感器的泄 漏电阻Ra，这样压电传感器在测量系统中的实际等效 电路如图所示。 ;7.3 压电式传感器的等效电路;2、压电元件的常用结构形式 在压电传感器中，为了提高压电元件的灵敏度， 通常不采用单片结构，而是采用两片或多片组合结 构。由于压电元件是有极性的，因此连接的方法有 两种。 在图(a)中，两压电晶片的负极都集中在中间电 极上，正电极在两边的电极上，这种接法称为并联。 其输出的电容C和极板上的电荷量q为单片的两倍， 但输出电压U等于单片电压。 ; 在图(b)中，正电荷集中在上极板，负电荷集中在 下极板，而中间极板的上片产生的负电荷与下片产生 的正电荷相互抵消，这种接法称为串联。 显然串联接法时，其输出电压U等于单片电压的 两倍，输出的电荷量q等于单片电荷量，总电容为单片 的1/2。 ; 在这两种接法中，并联接法输出的电荷大，本身 的电容也大，故时间常数大，宜用于测慢变信号，并 且适用于以电荷为输出量的场合。 而串联接法，输出电压大，本身电容小，故时间 常数小，适用于以电压作为输出信号、测量电路的输 入阻抗很高的场合。;图7.7; 压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小， 因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗的前 置放大器，其作用为： ①把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗； ②放大传感器输出的微弱信号。 压电传感器的输出可以是电压信号，