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精细离子减薄仪
精细离子减薄仪
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精细离子减薄仪
精细离子减薄仪
精细离子减薄仪
Precision Ion Polishing System
型号 : 691
主要功能 : 主要用于陶瓷、半导体、金属等资料的透射电子显微镜
的制备。
-5 主要技术参数 : 极限待机真空度 :3 ×10Pa;轰击电压 :0-6 keV;
(TEM)样品
离子枪转
角 :0~
o?10; 样品台转速 :1~6 rpm /min; 试样厚度 d? 30 μm
工作原理 :
在高真空条件下，离子枪供给高能量的氩离子流，对样品表面以某一入射角度
连续轰击，当氩离子流的轰击能量大于样品表层原子联合能时，样品表面原子发生
溅射。连续不停的溅射，最后获取所需要的薄膜样品。
操作注意事项 :
1( 一定经管理人员赞同方可使用 ;
2( 样品在离子减薄前要经过机械研磨或凹坑，厚度要小于 30μm。 3( 样品台一
定要水平 ( 沿 X 轴方向 ) 搁置到样品室中。
oo4( 在离子减薄过程中，每个样品前 60%的时间用 10 角，中间 20%的时间用 7
角，
o 最后 20%的时间用 4 角。
5( 离子枪每工作 1 小时必定要停止 15 分钟，假如连续工作会烧坏离子枪。
6( 离子束调理开关 (Ion Beam Modulator) 要在 Double 状态，切忌在 off 状态。
主机表示图 :
1. 左枪电流 ; 2.
控制 ; 5. 左枪气阀
束能量 (keV)/
前级气压
(Torr); 3.
右枪电流 ; 4.
左枪气流
开关 ; 6. 右枪气阀开关 ; 7. 右枪
气流控制 ; 8. 真空表 ; 9.MDP 指
示灯 ; 10. 前级气压指示灯 ;
11.DP 测试按钮 ; 12. 循环停止
重设按钮 ; 13. 主电源开关 ; 14.
束状态指示灯 ; 15. 离子束调理
器开关 ;16. 角度状态指示
灯 ;17. 气锁放气指示灯 ; 18. 气锁防气开关 ; 19. 离子枪电压控制 ; 20. 计时器开关按钮 ; 21. 计
时器设置按钮 ; 22. 节余时间显
示 ; 23. 转速控制 ; 24. 样品起落控制 ; 25. 气锁抽气开关 ; 26. 气锁真空指示灯
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