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氦检漏仪原理 氦检漏仪原理 氦检漏仪原理 氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的特意用于检漏的仪器，它拥有性能稳固、敏捷度高的特色。 是真空 检漏技术中敏捷度最高，用得最广泛的检漏仪器。 ????氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱剖析计。单级磁偏转型仪器敏捷度为 lO -9 ～ 10 -12 Pam3 ／ s， 宽泛地用于各样 真空 系统及零零件的检漏。双级串连磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器对比较， 本底噪声显着减小． 其敏捷度可达 10 -14 ～ 10 -15 Pam3 ／ s，合用于超高 真空 系统、零零件及元器件 的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了惯例型仪器的构造布局，  被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位， 所以拥有可在高压力下检漏、  不用液氮及质谱室污染小等特色．  合用于大漏率、 真空 卫生较差的 真空 系统的检漏，其敏捷度可达  10 -12 Pam3 ／ s。 ????(1) 工作原理与构造 ????氦质谱检漏仪由离子源、剖析器、采集器、 冷阴极电离规构成的质谱室和抽气系统及电气部 分等构成。 ????①单级磁偏转型氦质谱检漏仪 ????现以 HZJ—l 型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其构造如图 2 所示。 ????在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加快极构成离子源；由外加平均磁场、挡板及出口缝 隙构成剖析器； 由克制栅、采集极及高阻构成采集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。 质 谱室的工作原理如图 3 所示。 ????在离化室 N 内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加快电压作用下以 必定的速度经过加快极 S1 的空隙进入剖析器。在平均磁场的作用下，拥有必定速度的离子将按 圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（ 5）计算。 ????可见，当 B 和 U 为定值时，不一样质荷比 me -1 的离子束的偏转半径 R 不一样。仪器的 B和 R是 固定的，调理加快电压 U 使氦离子束 [ 图中 (me -1 ) 2] 恰巧经过出口空隙 S2 ，抵达采集器 D，形成 离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反应出来；而不一样于氦质荷比的离子束 [(me -1) 1(me -1 )3] 因其偏转半径与仪器的 R 值不一样没法经过出口空隙 S2 ，所以被分别出来。 (me -1 )2 =4 ，即 He + 的质荷比，除 He+ 以外， C 卅 极少，可忽视。 ????②双级串连磁偏转型氦质谱检漏仪 ????图 4 示出了双级 90 0 缩转串连式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。 因为两次剖析， 减少了非 氦离子抵达采集器的机率。而且，如在两个剖析器的中间，即图中的中间空隙 S2 与周边的挡板 间设置加快电场， 使离子在进入第二个剖析器前再次被加快。 那些与氦离子动量同样的非氦离子， 固然能够经过第一个剖析器， 可是， 经第二次加快进入第二个剖析器后， 因为其动量与氦离子的 不一样而被分别出来。因为二次分别，仪器本底及本底噪声显着地减小，提升了仪器敏捷度。 ????③逆流氦质谱检漏仪 ????逆流氦质谱检漏仪的构造特色如图 5 所示。该类仪器是依据油扩散泵或分子泵的压缩比与气 体种类相关的原理制成的。比如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为 10 2 ；对空气中其余成分的压 缩比为 lO4 ～ 10 6。检漏时， 经过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气， 仍有部分返流到质谱 室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。 ????(2) 性能试验方法 ????敏捷度、反响时间、消除时间、工作 真空 度、极限 真空 度及仪器进口处抽速是评论氦质谱检 漏仪的主要性能指标。 ????①敏捷度及其校准 ????氦质谱检漏仪敏捷度，往常指仪器的最小可检漏率。记为 q L.min ，即在仪器处于最正确工作条 件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体， 进行动向检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。 所谓 “最 佳工作条件 ”是指仪器参数调整到最正确值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓 “动向检漏 ” 是指检漏仪器自己的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反响时间不大于 3s。所谓 “最小可检 ”是指 检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时， 才能认定有漏气讯号输出。 所谓 “漏孔漏率 ”是指一个大气压 的干燥空气经过漏孔漏向 真空 侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在 2min 内输出仪表的最大 颠簸量。 ????漏率敏捷度标准系统如图 6 所示。图中虚线框内部分为配气系统． 即为标准漏孔 5 进气端提 供压力为 p He 的纯氦气。协助泵 6 的任务是预抽。用干燥瓶 4 和针阀 2 调理仪器工作压力。 假如 仪器本底为 I0 ，本底噪声为 I n ，标准漏孔对空气的标称