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XRD水冷机维护标准作业指导书 1目的 规范XRD水冷机的维护作业，提高设备使用寿命及效率。 2范围 XRD水冷机 3参考文件 无 4定义 对XRD水冷机进行维护保养工作。 5职责 外延设备工程师。 6资历 工作一年以上并受过本公司专业培训的设备工程师。 7作业内容 7.1操作流程 更换XRD水冷机冷却水流程 7. 2更换XRD水冷机冷却水 7. 2.1根据《XRD检查保养维护记录表》确认是否可以进行冷却水更换。 注：XRD水冷机冷却水更换周期为3个月。 7. 2.2更换冷却水之前确认关闭XRD设备。 7. 2.3确认关闭水冷机开关。zhongho□岛 33.0niyM水冷机开关字止水粗缺水W??tor lowlovol水湿超皈Aldrrri temoor.stcjro温度调节Temperature adjust 7. 2.3确认关闭水冷机开关。 zhongho □ 岛 33.0 niyM 水冷机开关 字止 水粗缺水 W??tor lowlovol 水湿超皈 Aldrrri temoor.stcjro 温度调节 Temperature adjust 7. 2.4打开水冷机设备顶盖，露出加水口。 7. 2.5关闭水冷机后面XRD光管冷却循环水进、出口开关。 注：把手与水管平行为开启状态，垂直为关闭状态。 7. 2.6打开水冷机冷却水排水开关 注：排水时注意不要让水漫出到地面上，不要把水撒到XRD机台。 7. 2.7排空机台冷却水后，使用厂务PCW冷却水冲洗水槽3-4次，清洗干 净后再向水槽中加入PCW冷却水至水位面80%-90%处，关闭水冷机设备顶盖。 7. 2.8打开水冷机开关，等到水槽中冷却水温度上升到22“C以上时，先开 水冷机后面进水（回水）开关，再开出水开关，防止水流高压冲击XRD光管。 实际温度 设定温度 zl 混度调节 Temperature adjust 7. 2. 9 XED水冷机冷却水更换完成，开启XRD设备。 7. 2.10在《XRD检查保养维护记录表》中进行维护登记。