一个集成电路后部工序的计算机辅助制造系统.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 一个集成电路后部工序的计算机辅助制造系统  为了适合集成电路后部工序——老炼筛选测试工艺的生产管理特点，提高其生产效率，在前部工序IC-CAM系统基础上设计开发了新的集成电路制造后部工序计算机辅助制造系统。对老炼筛选测试工艺IC-CAM的系统结构，系统中的主体数据表结构及为保证数据完整性全都性的事件触发器的设计，以及部分界面设计技术等进行了具体分析与介绍。该系统已完成现场安装调试，投入试运行，全部功能达到预定设计要求，提高了IC后部工序的生产效率。  0引言  随着集成电路的制造过程越来越复杂，生产自动化程度越来越高，人工管理根本不能适应现代化大生产管理的要求。使用IC-CAM(computer-aidedmanufacturingforintegratedcircuits)系统来实现计算机高效管理势在必行。  清华大学微电子所原先自主设计的IC-CAM系统，只有前部工序(如氧化，光刻等)管理，而没有引入后部工序。后部工艺生产都要经过划片、封装、测试、老炼筛选等加工过程。因此后部工序与产品的牢靠性、寿命、成本、良率亲密相关。老炼筛选测试是集成电路生产特别关键的环节，高牢靠的IC产品，必需经过严格的老炼筛选测试等试验。对后部工序实现计算机信息管理，是实现IC后部生产的合理调度，提高生产效率的基础。该系统在前部工序IC-CAM系统的基础上，依据老炼筛选测试工序的详细特点建立相应的管理功能，在工艺制定、生产计划调度、在制品流水跟踪、质量掌握和原材料管理等方面全面地实现了基于计算机的信息管理。  本文就集成电路老炼筛选测试工序管理系统进行争论。  1系统设计  1.1开发工具与平台  本套IC-CAM系统采用客户/服务器(C/S)应用体系，硬件平台选用SUN工作站，在Solaris8操作系统下的Oracle9i数据库系统上建立系统底层数据模型；采用Powerbuilder9.0设计开发出类似windows风格的用户界面，打包生成的客户端程序(*.exe)在WindowsXP/2000下运行。  1.2系统基本组成  整个系统依据老炼筛选测试生产线的详细状况和各主要部门的职能把系统划分为测试工艺员于系统，测试调度员子系统，测试操作员子系统，测试设备管理子系统，测试成品库房管理子系统及统计报表子系统，如图1所示。该图不仅体现了系统组织结构，并且清楚地反映了整个后部工序生产活动的主要过程，是整个系统设计的基础。各子系统负责把自己的数据录入系统后，整个生产线可实现数据共享。通过计算处理后，全部人员都能够依据各自的权限查看其相关信息。  测试工艺员负责在经过全体工艺工程师进行管理评估全都通过后建立筛选测试工艺模型和编制工艺流程卡，工艺流程卡为定制文件，一般不得随便更改。它规定了各次筛选测试或检验步骤的操作规范、参数要求和检验项目。测试调度员和测试操作员两个子系统依据各种测试流程卡对产品进行老炼筛选测试加工。调度员是生产过程的管理者，负责支配产品的生产、投料编批和指定产品流程优先级，并协助处理生产中的异常状况，进行试流、返工、报废等多种处理。测试操作员接到谓度令，根据产品流程卡的要求对产品各项相应的加工操作，并将操作信息和测试参数输入到系统当中。测试设备管理子系统负责登记设备基本状况，设置关键设备，并记录日常预防性维护检修和故障修理的过程。测试产品库房管理子系统负责管理成品、原材料和设备零部件。统计报表子系统定时自动生成各类报表，是整个老炼筛选测试IC-CAM系统主要的数据输出部分。生成的报表既有实时数据查询，也有按一定时间间隔统计得出的历史数据，详细内容掩盖了各个子系统。  1.3主体数据表结构模型  数据是管理系统的载体，是处理后部工序生产活动流程的主要对象，是实现系统功能的基础，也是数据库设计的主要依据，因此分析和整理项目管理流程分析中的数据以及数据维护的过程至关重要。在建立数据模型时要确保数据的完整性、全都性，削减数据冗余，有利于快速查询等操作。  设计数据模型时，首先要将生产流程过程中涉及到的数据载体(如工艺流程卡、报表、库房台账等)进行汇总，然后将这些资料加以整理和分析，从数据流淌过程来考查实际的生产活动管理模式，理顺其中的相互关系。  测试工程部(主要包括测试工艺员子系统)和生产部(包括调度员子系统，测试操作员子系统，测试设备管理子系统)的数据表是整个老炼筛选测试工艺生产管理系统的主体数据表，下面分别介绍它们的结构模型。  (l)测试工程部:测试工程部的数据表以产品生产流程卡的制定为中心进行工艺规范及产品属性管理。首先建立人员、设备、工艺大步类型、质量管理的代码字典