半导体厂废气处理模糊故障诊断系统研究.docx

? ? 半导体厂废气处理模糊故障诊断系统研究 ? ? 魏强 刘跃旭 韩志强 张建海 摘? 要：针对以往半导体厂废气处理设备故障诊断缺陷，提出了一种模糊故障诊断方案。根据废气处理设备的工作特征参数，对故障成因和特点进行分析。基于模糊推理的原则，建立了自动故障诊断系统。实践应用表明采用模糊推理原则可以改善工作状态时的故障预判，减少了故障发生，提高了半導体厂生产的效率。 关键词：废气处理;模糊推理;故障诊断 ：? ? ? ? ? ： Fuzzy-inference Based Fault Diagnosis System for Waste Gas Treatment of Semiconductor Wei qiang， Liu Yue-xue， Han Zhi-qiang， Zhang Jian-hai （TJPR Environmental Engineering Technology Co.， Ltd， Tianjin 300402， China） Abstract： In order to make up for deficiencies of the traditional fault diagnosis method of waste gas treatment system， an automatic fault diagnosis method was stu