《电子科学与技术专业实验》教学大纲（本科）.docxVIP

本科教学大纲 《电子科学与技术专业实验》教学大纲 （学分 4，学时 96） 一、课程说明 本课程是电子科学与技术专业的专业实践必修课，设在三年级下学期和四年级上学期开课，以先修的半导体物理和半导体器件课程为理论基础，完成从材料到器件的制备及特性表征。 二、课程目标（对应毕业要求：1-④、1-⑤、1-⑥、2-①、2-②、2- ③、2-④、2-⑤、2-⑥、3-④、3-⑤、4-①、4-③、4-④、4-⑤、4- ⑥） 了解相关半导体材料的晶体结构，认识不同结构与光、腐蚀液、清洗剂相互作用的差异（对应毕业要求：1-④、1-⑤、2-①、2-②）； 了解半导体器件的基本结构、工作原理及实际应用（对应毕业要求：2-①、2-④、 2-⑤、）； 学习所用设备的使用方法及应用方向以满足自主创新的需求（对应毕业要求：2-②、 2-⑥、3-④、4-①、4-⑤、4-⑥）； 基本掌握器件的制备工序与方法、培养学生的实践操作能力（对应毕业要求：2-④、 2-⑤、3-⑤、4-①、4-③、4-④）； 学会对实验结果分析及处理方法（对应毕业要求：2-②）； 加深学生对半导体基本工艺的认识，巩固对半导体材料、器件的基本特性及理论知识的掌握（对应毕业要求：2-③、1-⑥）。 三、教学内容、基本要求与学时分配 序号 教学内容 教学要求 学时 教学方式 对应课 程目标 1 材料生长 熟悉有机薄膜的制备过程； 了解蒸空镀膜机等材料生长设备的结构和工作原理； 完成多层有机薄膜制备。 16 实验 2-4 2 材料特性测量 通过电阻率测量、外延结深测量、禁带宽度测量、表面形貌观测、少子寿命测量、薄膜 厚度测量获得材料特性参数 30 实验 1、3 3 器件制备 掌握有机发光器件的结构和发光原理； 掌握有机发光器件制备流程； 了解匀胶、光刻、电极蒸镀、合金、划片、引线封装等工艺。 20 实验 2-4 4 器件特性测量 光谱特性测量、I-V/C-V 测量、P-I 特性测量、光电参数测量、光电探测器光响应特性， 太阳能电池特性测量。 30 实验 3、5、6 四、其它教学环节 无 五、授课说明 开课学期：春季、秋季。 授课单位：微电子学院。 适用专业：电子科学与技术专业。 先修课程：《半导体物理》、《半导体器件》。 学时：96 学时。 六、考核及成绩评定方式 实验：60 分 报告：40 分 七、教材和参考书 使用教材自编实验讲义 主要参考书 谭昌龙主编. 半导体物理与测试分析. 哈尔滨工业大学出版社,2012 郑云光主编. 半导体实验教程.天津大学出版社,1989