《电子化学品技术基础》教学大纲.doc

《电子化学品技术基础》课程教学大纲 课程编号：MCHM3010 课程类别：专业教学课程 授课对象：材料化学专业 开课学期：春季 学 分：2学分 指定教材：《电子化学品技术基础》，自编教材 教学目的：电子化学品制备工艺是为材料化学专业的学生开设的一门专业课程，目的是为材料化学专业的学生将来从事本专业打下扎实的基础。 本课程的主要任务：随着我国微电子工业的迅速发展，半导体行业正逐步发展成为“设计业”、“制芯业”、“封装业”、“材料业”四业并举并以“封装业”为主导的发展新时期。随着“制芯业”、“封装业”亚微米技术的突破，单片集成度的迅速增加，电子封装向小型化、高性能、高可靠性和低成本方向发展。制芯业、封装业对所需的电子化学品如光刻胶、超净高纯试剂、有机硅氟材料、塑封料、聚酰亚胺及印刷线路板基材等材料的性能质量要求越来越高，电子化学品对半导体行业发展作用越来越显得重要。为了促进电子化学品工业的发展，提高电子化学品研究、生产及使用的技术水平，本课程将着重探讨光刻胶、超净高纯试剂、有机硅氟材料、环氧塑封料、聚酰亚胺及印刷线路板基材等材料的物化性能、合成原理、制备工艺过程、生产使用技术及国内、外最新技术成果等。 第一章超净高纯试剂 课时：3.5周，共16课时 1．1 概述 1．1．1 微电子技术发展现状 1．1．2 工艺化学品发展现状 1．2 工艺化学品的分类 1．2．1 品种分类 1．2．2 质量规格 1．3 工艺化学品的应用 1．3．1 湿法清洗 1．3．2 湿法蚀刻 1．3．3 我国工艺化学品的市场预测及应用前景 1．4 工艺提纯技术 1．4．1 蒸馏与精馏 1．4．2 亚沸蒸馏 1．4．3 等温蒸馏 1．4．4 减压蒸馏 1．4．5 升华 1．4．6 化学处理技术 1．4．7 气体吸收技术 1．4．8 颗粒控制技术 1．5 产品的包装、贮存及运输 1．5．1 产品的包装技术 1．5．2 产品的贮存及运输 1．6 分析测试技术 1．6．1 颗粒的分析测试技术 1．6．2 金属杂质(痕量元素)的分析测试技术 1．6．3 阴离子的分析测试技米 1．7 工艺化学品制备工艺简述 1．7．1 硫酸的制备 1．7．2 过氧化氢的制备 1．7．3 氢氟酸的制备 1．7．4 盐酸的制各 1．7．5 硝酸的制备 1．7．6 磷酸的制备 1．7．7 氢氧化铵的制备 1．7．8 无水乙醇的制备 教学要点：使学生知道工艺化学品发展现状、分类及应用，我国工艺化学品的市场预测及应用前景，掌握工艺化学品的工艺提纯技术、分析测试技术。 思考题 1）我国的工艺化学品与国外的差距在那里？ 2）如何进行颗粒的分析测试 3）如何进行金属杂质(痕量元素)的分析测试 4）如何进行工艺化学品的工艺提纯，目前可采用的基本方法。 第二章 聚酰亚胺材料 课时：3.5周，共16课时 2．1 聚酰亚胺(PI)材料的分子设计及在微电子技术中的应用 2．1．1 微电子工业中的PI材料 2．1．2 聚酰亚胺材料的分子设计 2．1．3 聚配亚胺在微电子工业中的应用 2．2 光刻性聚配亚胺材料 2．2．1 引言 2．2．2 光敏性聚酰亚胺树脂 2．2．3 标准型聚酰亚胺和光敏性聚酰亚胺的比较 2．2．4 PSPI的发展 2．2．5 酯型PSPI 2．2．6 离子型PSPI 2．2．7 自增感型PSPI 2．2．8 正性光敏性聚酰亚胺 2．2．9 化学增幅型聚酰亚胺光刻胶 2．3 聚酰亚胺取向膜材料 2．3．2 引言 2．3．2 液晶显示器的显示原理 2．3．3 液晶显示器的制造工艺 2．3．4 液晶分子取向排列技术 2．3．5 液晶显示用取向膜材料 2．3．6 国内外发展现状与趋势 教学要点：使学生了解这类材料具有独特的化学理、力学和电学性能：(1)优异的耐热性能，可耐350—450℃的高温；(2)优良的力学性能，对器件有一定的增强作用；(3)化学稳定性好，抗有机溶剂和潮气的浸湿；(4)良好的绝缘性，体积电阻率极高(5)优良的介电性能，介电常数3．0—3．4，介电损耗0．01一O.002；(6)高纯度，无机离子的量低，钠离子含量可低于2—3mg/Kg；(7)具有比无机介电材料更好的平面形成性能和力学性能；(8)对常用基体、金属和介电材料的粘接性优良 (9)根据需要，可形成薄膜，也可形成厚膜；(10)成型工艺简单、易行。采用阶梯升温法，—次成型, 思考题 1）如何进行聚酰亚胺材料的分子设计？ 2）标准型聚酰亚胺和光敏性聚酰亚