薄膜材料及其应用.pptxVIP

1 薄膜材料及其应用 2 第一节 耐磨及表面防护涂层 一、硬质涂层 二、热防护涂层 三、防腐涂层 第1页/共43页 3 一、硬质涂层 常用于硬质涂层的材料可按其材料类别被细分为陶瓷以及金属间化合物两类，而基底材料则是一些高强度、高韧性的合金材料。 特点：1、都具有很高的硬度、熔点和弹性模量； 2、线膨胀系数较低； 3、断裂韧性要低于常用的金属材料。 第一个特点是采用硬质涂层的原因，第二、三个特点的残余热应力及与其密切相关的涂层与基底间的附着力，涂层的疲劳及抗冲击性能等。 第2页/共43页 4 涂层材料与基底材料线膨胀系数的差别将引起涂层及基底中产生很大的热应力，严重时会导致涂层从基底表面脱落。 另一个衡量涂层抵抗温度变化引起的应力的指标是热冲击抗力ST，它与由温度差ΔT引起的热流密度 与由线膨胀系数不匹配和温度变化引起的热应力σ之比有关，其具体表达式为 其中，κ为涂层材料的热导率，d为涂层厚度，E和v为涂层材料的杨氏模量和泊松比，Δα为涂层与衬底材料间线膨胀系数之差。 第3页/共43页 二、热防护涂层 提高高温合金使用温度，防止其在高温氧化环境中产生性能退化的一个有效途径是对其加以热防护涂层。 这种热防护涂层通常是由一层金属涂层和一层氧化物热防护层组成的复合涂层。 作用：1、在基底金属与氧化物涂层之间提供一个过渡层，从 而提高整个热防护层对基底材料的附着力。 2、金属涂层的中稀土元素Y还具有保护基底材料和涂层界面不被氧化的重要作用。 作用：具有低的热导率，可以有效地降低高温工作部件在关键部位的温度，从而达到提高材料的使用温度的目的。 通常采用等离子喷涂的方法制备上述的热防护复合涂层，涂层厚度为数百微米。涂层后部件的使用温度通常可以达到1300℃左右。 金属涂层的一般的成分是(Ni,Co,Fe)CrAlY 氧化物热防护层的主要组分是ZrO2 第4页/共43页 6 三、防腐涂层 （1）阳极防护性涂层。Zn、Al、Zn-Al、Al-Mg-Re合金的涂层可以依靠自身较负的电极电位，提高被涂层的钢铁材料抵抗各种大气及海水条件侵蚀的能力。这时，涂层本身作为阳极，保护了作为阴极的钢铁基底。 （2）不锈钢及各种镍铬合金涂层。不锈钢表面会自然形成一层致密的Cr2O3保护膜，具有良好的耐腐蚀性能和适当的强度、韧性、耐磨性和可加工性，与钢铁材料基底的附着性好，因而常被喷涂于各种机械部件上，用以提高其抗蚀性。 （3）陶瓷材料涂层。陶瓷材料一般均具有较好的抗腐蚀性能，还具有较好的耐热性能和耐磨性能，因而也可被用来制造耐蚀涂层。 （4）高分子材料涂层。高分子材料一般具有较好的化学稳定性，并且具有适当的韧性和耐磨性能，因而也可以被用来制备金属部件的防护涂层。 防腐涂层的种类可以依要求防护的材料和使用环境的不同有很大的差别。 第5页/共43页 7 第二节 金刚石薄膜 一、金刚石薄膜的制备技术 二、金刚石薄膜的应用 第6页/共43页 8 一、金刚石薄膜的制备技术 合成金刚石薄膜的CVD方法一般采用1000℃以下的衬底温度和低于的压力条件，在这一温度和压力范围内，石墨是碳的稳定相，而金刚石则是不稳定的。 右图是目前使用最多的沉积金刚石薄膜的热丝CVD装置示意图。在衬底的上方，装有一根或数根被加热至2000℃左右高温的导电金属丝，它的作用是激活流过它附近的由H2和少量CH4组成的工作气体，使其部分分解为活性氢原子H*和甲基CH3* 第7页/共43页 9 其中的星号表示相应的原子或原子团具有一定的化学反应活性。上述活性原子或基团在扩散至衬底表面时，将发生一系列的化学反应，其中比较重要的有 如此循环反复，原有的金刚石核心就逐渐成长为金刚石晶粒， 而无数的金刚石晶粒则逐渐形成金刚石薄膜。 第8页/共43页 10 CVD方法沉积的金刚石薄膜 第9页/共43页 11 二、金刚石薄膜的应用 1、金刚石力学性质的应用。金刚石的高硬度、高耐磨性使得金刚石薄膜成为极佳的工具材料。 （1）将沉积后的金刚石薄膜剥离下来，然后重新加以切割、研磨，并焊接到工具的尖端上。这种应用形式具有金刚石膜较厚、工具使用寿命较长的优点，但同时也具有工具的开关不可能做得很复杂的缺点。 （2）将金刚石膜直接沉积到工具的表面上，薄膜厚度较薄，成本较低。难点在于沉积的薄膜对衬底材料的附着力不容易提高。缺点是它不适于钢铁材料的高速切削加工。 2、金刚石热学性质的应用。 金刚石具有极高的热导率。在室温条件下，金刚石的热导率是铜的五倍，同时金刚石本身又是极好的绝缘材料，这使得金刚石成为极好的高功率光电子元件的散热器件材料。 第10页/共43页 12 3、金刚石光学