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等离子体参数测量与研究 06300190017 杨峰 引言 什么等离子？ 如何产生等离子体？ 直流放电形成辉光等离子体的经典结构 等离子体的参数 等离子体的密度：位体积某带电粒子的数目。Ni表示离子浓度，Ne表示电子密度。 等离子体的温度：对于平衡态等离子体（高温等离子体）温度是各种粒子热运动的平均量度。一般Ti表示离子温度，Te表示电子温度。 德拜长度：等离子体内电荷被屏蔽的半径，表示等离子体内能保持的最小尺度。 直流低气压放电的伏安曲线 测定击穿电压并验证帕邢定律 帕邢定律 上式称为帕邢定律，表示击穿电压Ub 是气压P 与极间距离d 乘积的函数。其中A和B为常数，γ表示一个正离子撞击阴极表面时平均从阴极表面逸出的电子数目（二次电子发射）。 测量结果 等离子体参数的静电探针诊断 ＋ － 探针法原理 I = Ii0*tanh(e V / 2kTe) 测量结果 Te=7.162ev Te=6.595ev Te=7.237ev 单探针法的尝试 谢谢 * * * * * * * * * * * * * * * *