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柔浩开发-测试计画-20210604.pdfVIP

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  • 2022-05-01 发布于山东
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柔浩开发-测试计画-20210604.pdf

    柔浩开发-测试计画 柔浩/ 紫旸升 2021/06/01 疫情影响,实验场地不开放使用 暂定6/14后开放 实验条件表格待完善 1. 光罩准备进度 : 2. 待提供光罩设计图面或Width/Space条件 : 3. 曝光机设备能力(Ex:光源波长/ 解析度) : 4. 湿式蚀刻 温度参数 : 蚀刻时间参数 : 4.1. 盐酸 ：氯化铁= 1 : 1

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