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JJF ××××-×××× JJF 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF XXXX-XXXX 计量型扫描探针法栅格间距校准规范 Calibration Specification for Micro-/Nano- pitch standard （征求意见稿） 20XX-XX-XX 发布 20XX-XX-XX 实施 国家市场监督管理总局发布 JJF ××××-×××× 计量型扫描探针法栅格间距校准规范 Calibration Specification for Micro-/Nano- pitch standard 归 口 单 位： 全国几何量长度计量技术委员会 主要起草单位： 参与起草单位： 本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释 本规范主要起草人： ***（***） 参加起草人： ***（***） PAGE PAGE 1 PAGE PAGE I 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 182 引 言 II 5197 1 范围 4 11484 2 引用文件 4 23332 3 术语 4 21150 3.1 栅格间距 4 26283 3.2 扫描探针显微法 4 30404 3.3 计量型扫描探针显微镜 4 28334 4 概述 5 10112 5 计量特性 5 4036 5.1平均栅格间距 5 381 5.2 栅格间距均匀性 6 17586 5.3 二维栅格间距正交性 6 10787 6 校准条件 6 17428 6.1 环境条件 6 20776 6.2 校准用设备 6 11300 7 校准项目和校准方法 6 7097 7.1 外观检查 6 30161 7.2 平均栅格间距 7 11697 7.3 栅格间距均匀性 8 12684 7.4 二维栅格间距的正交角度 8 27063 8 校准结果表达 9 25456 9 复校时间间隔 9 1863 附录A 原始记录参考格式 10 16815 附录B 校准证书内页格式 12 21988 附录C 栅格间距标准样板结果的不确定度评定 13 PAGE PAGE II 引 言 本规范依据JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1094-2002《测量仪器特性评定》编制。 本规范根据***。 本规范为首次发布。 JJF (沪) JJF (沪)58-2018 PAGE PAGE # PAGE \* PAGE # PAGE PAGE # 计量型扫描探针法栅格间距校准规范 1 范围 本规范适用于栅格间隔不大于100μm的栅格间距标准样板，如：单一间距、规则形状阵列和特殊排列的间距结构的首次校准、后续校准和使用中检查。 2 引用文件 本规范引用下列文件： GB/T 39516—2020 微纳米标准样板（几何量） ISO 18115-2:2013 表面化学分析 词汇 第2部分：扫描探针显微术术语 （Surface chemical analysis—Vocabulary—Part2: Terms used in scanning-probe microscopy） IEC/TS 62622-1-2012 纳米技术-栅格标样的描述、测量、尺寸参数（Nanotechnologies-Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings） 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（也包括所有的修改单）适用于本规范。 3 术语 3.1 栅格间距 mean pitch of grating 以周期性的几何结构形式形成微纳米级水平方向几何尺寸，以相邻几何结构中心间距表征栅格间距。 3.2 扫描探针显微法 scanning probe microscopy，SPM 在待测表面上进行机械式探针扫描，同时记录检测器的信号，对表面进行成像的方法。通过探针于表面之间的相互作用力来获取纳米级尺度的表面轮廓或形貌特征。典型的设备包括原子力显微镜 （Atomic Force Microscope，AFM）、扫描隧道显微镜（The scanning tunneling microscope，STM）等。 3.3 计量型扫描探针显微镜 Metrological