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涡旋真空泵的设计加工与使用 涡旋概念对于真空应用真正有吸引力的特性是:  ① 构造简单、工作可靠、零部件数量少;  ② 洁净无污染,真空抽气通道内无油;  ③ 节约能源,一台30m3/h (8.33L/s)的涡旋真空泵仅需要0.6～0.75kW的电机;  ④ 节约运行费用,涡旋真空泵无油工作, 密封或冷却都不需要油;  ⑤ 运动部件完全动平衡, 振动小、噪音低。  涡旋的概念自1905年由Creux发明到1973 年世界上第一台涡旋模型被制造出来, 其间经历了漫长的70 年。涡旋机构不能加工制造的根本原因就是缺乏精细的加工技术, 不能够实现涡旋型线之间的准确包容与啮合, 也就不能控制工作介质的泄漏, 达不到涡旋真空泵得性能指标。但是涡旋机构具有的抽气通道内没有油污染、泵构造简单、运行成本低、工作寿命长、能耗低、运行平稳、噪音低等特点, 对于真空应用行业具有极大的吸引力和潜在的应用价值。为了将涡旋机构的概念转化为实用的涡旋真空泵产品, 近二十多年来, 人们借鉴涡旋压缩机的设计与加工方面的经验, 成功设计并生产出了主要由动、静涡旋盘副与基座、曲轴、密封圈、防自转机构和驱动电机等五个部分组成的涡旋真空泵。为了保证涡旋真空泵的工作性能指标、高效率和可靠性, 人们开展了大量理论研究与实验探索。到目前为止这方面的工作主要集中在: 设计原则  要将涡旋机构的概念转化为实用的涡旋真空泵产品,必须解决下述关键技术问题: ① 改良密封、减少泄漏; ②减小余隙、提高压缩比; ③优化构造、提高可靠性; ④简化生产加工工艺、降低对制造精度的要求、降低成本。  在涡旋真空泵的设计当中要从泵的工作效率和可靠性出发, 选择泵的构造参数。首先考虑的是泵的性能指标, 如极限真空度、抽速、能耗、转速、体积、重量以及外部尺寸等; 然后根据性能指标来确定泵的内部构造参数, 如涡旋线型、基圆尺寸、涡旋壁厚、涡旋壁高和曲轴径向偏心量等; 在实现了性能指标的根底上, 再开展泵的整体优化, 包括构造参数优化、泵体以及密封材料选择、轴承选择、表面处理与驱动电机的选配等。 构造设计  为了提高涡旋真空泵的工作效率, 涡旋真空泵采用了双面动涡旋盘, 使动涡旋盘两面具有完全相同的型线构造, 动涡旋盘型线工作时分别与两侧的静涡旋盘型线啮合, 这样可以使整个涡旋泵头运转时受力平衡, 有利于空间的有效利用并减小轴向磨损。  设计时在圆渐开线的根底上, 通过给出渐开线曲线的轴向高度和径向厚度, 形成第二个涡旋, 两个涡旋交叉重叠(相差180°),一个静止,一个旋转,形成新月形气腔。一系列这样的气腔将涡旋机构的内部与外部分离。根据配合的涡旋相对运动的方向, 将这些气腔设计成径向内移压缩以实现真空抽气。  在确定了涡旋真空泵的涡旋线型后, 为了实现使泵能够有效工作的目的, 必须使涡旋型线在各个真空气腔能够良好啮合。在涡旋型线的中心段, 圆渐开线型线由于刀具的干预形成, 使高压区涡旋壁厚变薄, 加上相邻真空腔压差大等复杂因素的影响, 导致涡旋壁受力情况恶劣、容易热变形, 还可能使排气腔一部分高压气体潴留, 降低涡旋真空泵的工作效率。为了解决这些问题, 人们采用圆渐开线线型修正的方法, 改良高压区涡旋型线构造。这个方法, 使涡旋壁的刚度和强度有所提高, 并且提高了泵的可靠性。  为防止两个动、静涡旋盘相对运动, 设计时通常在外圆周上安装几个偏心量相等的小曲轴来束缚动涡旋盘与静涡旋盘, 保证动涡旋盘相对于静涡旋盘绕行却不旋转。 泄漏与密封  涡旋真空泵的泄漏主要包括通过涡旋型线轴向啮合间隙的径向泄漏和通过型线径向啮合间隙的切向泄漏。径向泄漏可以采用顶部密封来解决, 而切向泄漏则采用控制动涡旋盘与静涡旋盘壁之间间隙的方法来解决。涡旋真空泵的密封主要包括顶部密封和轴承密封等。顶部密封件就是几个细长的分别安装在动、静涡旋盘顶部的密封条, 密封条相对对面涡旋盘底面作圆周向滑动, 使气腔在涡旋盘顶部的泄漏减到最小。由于是无油运转, 要求密封件耐磨、耐高温、具有一定的抗蠕变性能。顶部密封件的材质、尺寸、位置对于涡旋真空泵的成功长期运转是至关重要的。轴承密封考虑的是将真空抽气通道与含润滑油脂部分隔离,实现涡旋真空泵的有效清洁无油抽真空。  图3径向泄漏  解决了涡旋盘的加工和涡旋顶部密封后,就要考虑泵气腔之间的间隙与密封了。涡旋顶端的有效轴向密封足以防止气体轴向泄漏。但是涡旋盘本身密封(气腔之间的密封) 还要求涡旋壁面之间的间隙最小, 以尽量减小相邻气腔之间的泄漏。小一些的间隙或者另外再加一些气腔, 对改善泵的极限真空度很有必要。虽然在实际应用当中, 对