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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 院系：04 级 6 系 学号：P姓名：高盛华 实验目的 了解椭偏仪测量薄膜参数的原理. 初步掌握反射型椭偏仪的使用方法. 实验原理 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后 ,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的.通常,设介质层为 n 、 1 n 、n ,φ 为入射角,那么在 1、2 介质交界面和 2、3 介质交 2 3 1 界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1) ?1界面 1薄膜界面 2折射率n1折射率 n2折射率n3? 2这里我们用 ? 1 界面 1 薄膜 界面 2 折射率n1 折射率 n2 折射率n3 ? 2 ? = 2?dn2 cos?2 / ? ,用 r1p、 r1s 表示光线的 p 分量、s 分量在界面 1、2 间的反射系数, 用 r2p 、r2s 表示光线的 p 分、s 分量在界面 2、3 间的反射系数. 由多光束干涉的复振幅计算可 知: r ? r e ? i 2 ? E ? 1 p 2 p E .......... ...( 1) rp 1 ? r 1 p r e ? i 2 ? ip 2 p r ? r e ? i 2 ? E ? 1 s 2 s E .......... ...( 2 ) rs 1 ? r r e 1 s 2 s i 2 ? is 其中 E 和 E 分别代表入射光波电矢量的 p 分量和 s ip is 分量，E 和 E 分别代表反射光波电矢量的 p 分量和 s 分 rp rs 量.现将上述 E 、E 、E 、E 四个量写成一个量 G,即: ip is rp rs E / E r ? r e?i 2? r ? r e?i 2? G ???rp rs ? tg? ei? = 1 p 2 p · 1s 2s (3) E / E ip is 1 ? r 1 p r e?i 2? 2 p 1 ? r r e?i 2? 1s 2s 我们定义 G 为反射系数比，它应为一个复数，可用tg ? 和? 表示它的模和幅角.上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: ? r ? ( n cos ? ? n cos ? ) /( n cos ? ? n cos ? )......( 4 ) ? 1 p 2 1 1 2 2 1 1 2 ? r ? ( n cos ? ? n cos ? ) /( n cos ? ? n cos ? ).....( 5) ? 2 p 3 2 2 3 ? ? 3 2 2 3 1212? ? 1 2 1 2 1212? r ? ( n 1 2 1 2 cos ? n cos ) /( n cos ? n cos ).......( 6 ) ? 1 s ? ? ? ? r ? ( n cos ? n cos ) /( n cos ? n cos 2 3 2 3 2 2 3 3 )......( 7 ) ?? 2 s ? ? ? ? 2 ? 4 dn cos / ( 8) 22? 2 2 ?? n ? 1 cos ? 1 ? n cos ? 2 ? n cos ? 2 3 3 .......... .......... .......... .....( 9 ) G 是变量 n 、n 、n 、d、? 、? 的函数(? 、? 可? 用表示 ) , 1 2 3 1 即 ? ? tg ?1 f , 2 3 1 ? ? arg f , 称? 和? 为椭偏参数,上述复数方程表示两个等式方程: [ ]的实数部分=[ r ? r e ?i 2? r ? r e?i 2? ]的实数部分 tg?ei?  1 p 2 p 1s 2s 1 ? r 1 p r e ?i 2? 1 ? r 2 p 1s r e?i 2? 2s [ ]的虚数部分=[ r r e?i 2? r r e?i 2? ]的虚数部分 tg?ei?  1 p 2 p 1s 2s 1 ? r 1 p r e?i 2? 1 ? r 2 p 1s r e?i 2? 2 s 1若能从实验测出? 和? 的话,原则上可以解出 n2 和d (n 、 1 ? ? ? ?n 、 、 已知),根据公式(4)~(9),推导出 和 ? ? ? ? 3 1 1p 1s r 、r 、和δ的关系: 2p 2s tg? ? [ r 2 ? r 2 ? 2r r 1 p 2 p 1 p 2 p cos 2? 1 ? r 2 r1s r r 2 2s 2r r 1s 2s cos 2? ]1/2 …(10) 11 ? r 2 1 p r 2 2 p