碳化硅生产工艺.pdfVIP

碳化硅的生产工艺和投资估算 碳化硅是人工合成的材料，其化学计量成分以克分子计：Si 50%、C 50% 以质量计：Si 70.04%、C 29.96%，相对分子质量为40.09 。 碳化硅有两种晶形：β-碳化硅类似闪锌矿结构的等轴晶系；α-碳化硅则为晶体排列致密 的六方晶系。β-碳化硅约在2100℃转变为α-碳化硅。 3 3 碳化硅的物理性能：真密度α型3.22g/cm 、β型3.21g/cm ，莫氏硬度9.2，线膨胀系数 -6 为(4.7~5.0) ×10 / ℃，热导率(20℃)41.76W/(m·K)，电阻率(50℃)50Ω·cm，1000℃ 2Ω·cm， 辐射能力0.95~0.98 。 碳化硅的合成方法 (一)用二氧化硅和碳（煤）合成碳化硅 工业上合成碳化硅多以石英砂、石油焦（无烟煤）为主要原料，在电炉内温度在 2000~2500℃下，通过下列反应式合成： SiO +3C SiC+2CO -46.8kJ(11.20kcal) 2 1. 原料性能及要求 各种原料的性能：石英砂，SiO 99%，无烟煤的挥发分5% 。 2 2. 合成电炉 大型碳化硅冶炼炉的炉子功率一般为10000kW， 每1kg SiC 电耗为6~7kW·h ，生产周期升温时为26~36h，冷却24h 。 3. 合成工艺 (1) 配料计算： 式中，C 为碳含量，SiO 为二氧化硅含量，M=37.5 。碳的加入量允许过量5% 。炉内配 2 料的重量比见表3 。 表1 炉体内各部位装料的配比 项目 上部 中部 下部 C/SiO 0.64～0.65 0.64～0.65 0.59～0.61 2 食盐% 8～10 8～10 6～9 木屑/L 180 360 180 一般合成碳化硅的配料见表4 。 表2合成碳化硅的配料 配料/% 绿SiC 黑SiC 配料/% 绿SiC 黑SiC 硅质材料 32～56 44.5～59 食盐 2～6 0～8 炭质材料 18～45 34～44 非晶材料 5～10 木屑 2～6 3～11 未反应料 25～35 在碳化硅的生产过程中，回炉料的要求：包括无定形料、二级料，应满足下列SiC80%， SiO +Si10%，固定碳5%，杂质4.3% 。 2 焙烧料的要求：未反应的物料层必须配人一定的焦炭、木屑、食盐后做焙烧料。加入量 ( 以100 计)焦炭0~50kg，木屑30~50L，食盐3%~4%。 保温料的要求：新开炉需要配保温料。焦炭与石英之比为0.6 。如用乏料代特应符合如 下要求：SiC25%，SiO +Si35%，C 20%，其他3.5% 。 2 加入食盐的目的是为了排除原料的铁、铝等杂质，加人木屑是便于排除生成的一氧化 碳。 3 (2) 生产操作：采用混料机混料，控制水分为2%~3%，混合后料容重为1.4~1.6g/cm 。 装料顺序是在炉底先铺上一