微惯性技术发展现状与未来趋势讲义.pptVIP

4、微机械陀螺发展概述 微机械陀螺以体积小、成本低、抗过载能力强等优势，可应用于导航、制导、汽车、电子玩具等领域，成为世界各国研究的热点。 第三十页，共四十页。 微机械陀螺国内外研究现状 国外：如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司，日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家，已有商业化产品。 国内：有北京大学、清华大学、复旦大学、哈尔滨工业大学、中科院上海微系统所、中北大学等，都对陀螺进行了深入的研究，取得了一定的成果，但无商业化产品，处于研究阶段。 第三十一页，共四十页。 德国Bosch公司 芬兰赫尔辛基工业大学 土耳其安卡拉中东科技大学 日本Murata Mfg.Co 美国Michigan大学 返回 第三十二页，共四十页。 单位 结构特点 检测机理 灵敏度/分辨率 噪声/漂移 美国 Michigan大学 振动环式 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.5?/s 7.2?/h 日本 Murata Mfg.Co 独立梁式 电容驱动 电容检测 25Hz带宽下 分辨率0.07?/s / 土耳其安卡拉中东科技大学 电容驱动3mm×3mm 电容检测 真空24mV/o/s 大气100μV/o/s / 芬兰 赫尔辛基工业大学 框架式 角振动 电容检测 信噪比51.6dB 德国Bosch公司 双质量块 电磁驱动 电容检测 18mV/?/s 量程为100o/s 国外微机械陀螺的特点与性能指标 第三十三页，共四十页。 北京大学、清华大学、复旦大学，中科院上海微系统所 返回 第三十四页，共四十页。 微惯性技术发展现状与未来趋势 刘志军 2120120999 检测技术与自动化装置 搭讪电话： 第一页，共四十页。 传感器 信号处理 执行器 MEMS是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控制。MEMS是多种学科的交叉融合，应用领域极为广泛，目前已成功地应用于汽车、电子和军事等行业。 美国：微电子机械系统（MEMS） （MicroElectroMechanicalSystem） 欧洲：微系统技术（MST） （MicroSystemTechnology） 日本：微机械（Micromachine ） MEMS简介 第二页，共四十页。 微机电系统的尺寸 在微小尺寸范围内，机械依其特征尺寸可以划分为1-10毫米的小型(Mini-)机械，1微米一1毫米的微型机械以及1纳米一1微米的机械。所谓微型机械从广义上包含了微小型和纳米机械，但并非单纯微小化，而是指可批量制作的集微型机构、微型传感器、微型执行器以及接口信号处理和控制电路、通讯和电源等于一体的微电子机械系统(Micro-Electronic Mechanical System-ME MS)或称为微机电系统。 第三页，共四十页。 MEMS的特点 1.微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、回應時間短 。 2以硅为主要材料，机械电器性能优良。 3.大量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。 4.集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器数组、微执行器数组，甚至把多种功能的器件集成在一起， 形成复杂的微系统。 5.多学科交叉:MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学 和生物等多种学科，并集中了当今科学技术发展的许多尖端成果。 第四页，共四十页。 微惯性器件类别 微机电加速度计 微陀螺仪 第五页，共四十页。 微加速度计、微陀螺仪外观 第六页，共四十页。 微机电加速度计发展 1977年，美国斯坦福大学首先采用各向异性蚀刻与微光刻技术制成一种开环微型加速度计，并于20世纪8O年代初首次投放市场，随后许多公司也纷纷仿效研制。在8O年代后半期，人们开始研究各种力平衡式硅微加速度计，并取得了巨大进展。 第七页，共四十页。 2O世纪9O年代后期，美国加州大学柏克利分校传感器与执行器研究中心(The Berkeley Sensor Actuater Center.BSAC)，CSDL及Honeywell公司等相继开展了硅微谐振式加速度计技术的研究，这种加速度计将被测加速度信号转换成谐振器的频率变化，直接输出数字信号，避免了微电容检测的弊端. 第八页，共四十页。 隧道电流式加速度计(tunneling based micromachined silicon aecelerometer，TMSA)是将微机械加工的微结构与基于电子隧道效应的新的高灵敏测量技术结