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AQ XXXX—20XX
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附录A
(规范性)
多晶硅生产火灾危险性分类
A.1 火灾危险性分类
多晶硅生产中危险化学品的火灾危险性应符合GB 50016的规定,可燃危险化学品的火灾危险性分类表见表A.1。
表A.1 可燃危险化学品的火灾危险性分类表
序号
危险化学品名称
危险
类别
闪点
℃
自燃点
℃
爆炸极限(V/V)
火灾危险类别
下限
上限
1
硅粉(非晶形的)
易燃固体
类别2
——
775
160mg/m3
——
乙类
2
氢气
易燃气体
类别1
——
500-571
4.1
75
甲类
3
三氯氢硅
自燃液体
类别1
-28
185
1.2
90.5
甲类
4
二氯二氢硅
易燃气体
类别1
-55
41-47
4.1
96.0
甲类
注:二氯二氢硅在潮湿空气中,会发生局部放热反应,实际发生闪爆的环境温度往往大大低于该自燃点,这是多晶硅生产过程中最危险的物质之一。
A.2 多晶硅生产装置火灾危险性分类
A.2.1制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成装置、氯硅烷分离与提纯装置、三氯氢硅还原装置、还原尾气干法回收装置、四氯化硅氢化装置、氢气罐区、氯硅烷罐区的火灾类别为甲类易燃易爆作业场所。
A.3爆炸性环境危险区域划分
A.3.1 爆炸性气体环境危险区域按照GB 50058的规定划分。
A.3.2 爆炸性粉尘环境危险区域按照GB 50058的规定划分。
附录B
(规范性)
多晶硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度
表B.1规定了多晶硅生产场所空气中有毒物质及粉尘容许浓度。
表B.1 多晶硅生产场所空气中有毒物质及粉尘容许浓度
序号
危险化学品名称
危险
类别
健康危害特性
毒性危害级别
工作场接触限值mg/m3
MAC
TWA
STEL
1
硅粉
易燃固体,类别2
严重眼损伤/眼刺激,类别2B
矽肺
——
——
——
——
2
氢氟酸
急性毒性-经口,类别2*
急性毒性-经皮,类别1
急性毒性-吸入,类别2*
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
中毒、灼伤
Ⅱ
2
——
——
3
硝酸
氧化性液体,类别3
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
中毒、灼伤
Ⅲ
——
——
——
4
氢氧化钾
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
灼伤
IV
2
——
——
5
氢氧化钠
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
灼伤
IV
2
——
——
6
氯气
加压气体
急性毒性-吸入,类别2
皮肤腐蚀/刺激,类别2
严重眼损伤/眼刺激,类别2
特异性靶器官毒性-一次接触,类别3(呼吸道刺激)
危害水生环境-急性危害,类别1
中毒、灼伤
Ⅱ
——
——
——
7
氢气
易燃气体,类别1
加压气体
窒息
——
——
——
——
8
三氯氢硅
自燃液体,类别1
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
特异性靶器官毒性-一次接触,类别3(呼吸道刺激)
中毒、灼伤
Ⅲ
3
——
——
9
二氯二氢硅
易燃气体,类别1
加压气体
急性毒性-吸入,类别2
皮肤腐蚀/刺激,类别1
严重眼损伤/眼刺激,类别1
特异性靶器官毒性-一次接触,类别2
中毒、灼伤
Ⅲ
——
——
——
10
四氯化硅
皮肤腐蚀/刺激,类别2
严重眼损伤/眼刺激,类别2
特异性靶器官毒性-一次接触,类别3(呼吸道刺激)
中毒、灼伤
Ⅲ
——
——
——
11
氯化氢
加压气体
急性毒性-吸入,类别3*
皮肤腐蚀/刺激,类别1A
严重眼损伤/眼刺激,类别1
危害水生环境-急性危害,类别1
中毒、灼伤
Ⅲ
7.5
——
——
12
盐酸
皮肤腐蚀/刺激,类别1B
严重眼损伤/眼刺激,类别1
特异性靶器官毒性-一次接触,类别3(呼吸道刺激)
危害水生环境-急性危害,类别2
中毒、灼伤
Ⅲ
7.5
——
——
附录C
(资料性)
多晶硅生产过程中的危险、有害因素
C.1 火灾
火灾发生必须具备助燃物质、可燃物质、引燃(爆)能量三个条件。当氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅(二氯二氢硅、一氯三氢硅)泄漏时,遇明火、静电或其他能量引燃容易引起火灾;氢气或氢气与氯硅烷混合气或三氯氢硅(二氯二氢硅、一氯三氢硅)容器管道破裂时遇明火、静电或其他能量引燃容易发生火灾。
C.1.1 可燃物质
a) 氢气、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢硅、导热油;
b) 生产过程中在某些生产装置内形成的未彻底水解的浅黄色干燥团状或块状物质,这些物质具有较强的燃烧性,往往在脚踩的情况下即可发生燃烧;
c) 活性炭、超细硅粉等(包括还原过程中产生的超细无定型硅)。
C.1.2 引燃能量
a) 明火或高温物体
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