《集成电路工艺实验》实验教学（及含实验学分课程）大纲（模板）.pdfVIP

《集成电路工艺实验》实验教学（及含实验学 分课程）大纲 一、课程基本情况 课程编号 082W45D 学分 1 周学时 2 总学时 34 开课学期 3.2 开课学院：理学院 课程英文名称 适用专业：微电子学专业 课程类别：专业教育平台课 课程修读条件：半导体物理与器件、电路原理、数字电路、模拟电路、CMOS 数字集成电路、模拟 CMOS 集成电路 实践方式：课堂教学+实验 网络课程地址: 课程负责人 所属基层学术组织：微电子科学与工程系 二、课程简介 本课程具有较强的实践指导意义。通过理论学习与一系列实验教学环节，培 养学生独立完成数字集成电路数据采样、信号时序分析和信号状态分析；独立完 成模拟集成电路信号的频谱分析；独立完成集成电路裸片上器件的 I-V 特性测试； 独立完成芯片开路、短路测试，电流电压曲线测试，以及漏电流等的测试。通过 这些实验，可以更好地巩固学生所学的专业理论知识，扩大集成电路测试的知识 面，为学生从事集成电路工作打下扎实的理论基础，提高学生芯片测试能力。 本课程是对数字集成电路、模拟集成电路等知识的应用和相关理论的验证。 三、教学目标、任务 通过本课程的学习，要求学生掌握数字集成电路和模拟集成电路信号的测量 和分析方法，并会熟练使用相关测试仪器。 通过使用安捷伦的逻辑分析仪，掌握数字集成电路数据采样、信号时序分析 和信号状态分析方法；通过使用安捷伦的频谱分析仪，掌握模拟集成电路信号的 频谱分析方法；通过使用半导体特性测试系统，掌握集成电路裸片上器件的 I-V 特性曲线测试方法；通过使用自动曲线追踪仪，掌握封装集成电路芯片开路、短 路测试方法，电流电压曲线测试方法，以及漏电流等的测试方法。 四、教学方法与基本要求 学生 6 人一组，每组一套实验仪器；课程以教师讲解，学生实际动手操作以 及师生讨论的形式实施。 在理论课程的学习基础上，通过大量实验，要求学生掌握数字集成电路信号 采集、时序分析的方法，掌握模拟集成电路频谱分析的方法，掌握集成电路裸片 上器件参数的测量与分析方法，掌握封装完成的芯片开路、短路、漏电流、I-V 特 性曲线等的测量方法。要求学生熟练使用相关仪器的操作方法，熟悉实验操作步 骤。 五、主要内容及学时分配 实验类型 实验类 每组 序号 实验项目名称 (或上机类 时数 别 人数 型) 1 数字集成电路信号的逻辑分析 综合 专业 12 6 2 模拟集成电路信号的频谱分析 综合 专业 12 6 3 封装芯片的检测与分析 综合 专业 12 6 4 集成电路器件的测试与分析 综合 专业 15 6 注 1.实验类型：演示、验证、操作、综合、设计、研究； 上机类型：单项训练、综合训练。 2.实验类别：指基础、专业基础、专业。 六、考核及成绩评定方式 实验成绩评定标准 实验考核以学生的实验态度、掌握的实验理论、实际操作技能和实验报告等为主。 每个实验根据预习情况、实验过程和实验报告评分。课程最终成绩为所有实验项 目成绩的平均值。 实验态度占 15 %，实验理论占 15 %，操作技能占 20 %，实验报告占 50 %。 七、教材及参考书目 类别 教材名称