《半导体实验》实验教学（及含实验学分课程）大纲（模板）.pdfVIP

《半导体实验》实验教学 （及含实验学分课程）大 纲 一、课程基本情况 课程编号：082P14A 学分：2 周学时：3 总学时：51 开课学期：2.2 开课学院：理学院 课程英文名称： 适用专业：微电子学专业 课程类别：专业教育平台课 课程修读条件：半导体物理与器件 1 实践方式：实验 网络课程地址: 课程负责人： 所属基层学术组织：微电子科学与工程系 二、课程简介 本课程具有较强的实践指导意义。通过一系列有关半导体器件的实验教学环 节，培养学生独立完成半导体器件工艺仿真、参数测试和分析等方面的实践动手 能力，巩固和强化现代微电子技术相关知识，充分掌握半导体器件的测试分析方 法，提升学生在微电子技术领域的竞争力，培养学生灵活运用理论知识解决实际 问题的能力，锻炼学生分析、探讨和总结实验结果的能力。 三、教学目标、任务 通过本课程的学习，要求学生熟悉并掌握半导体器件的制备工艺流程，熟悉 半导体器件工艺仿真软件；掌握半导体器件的参数测量与分析方法，并会用相应 的仪器设备进行半导体器件测试分析。 要求学生掌握双极型晶体管直流参数的测量原理与测量方法；掌握 MOS 场效 益晶体管基本参数的含义及其各个参数的测量方法；掌握晶体管特征频率FT 的工 作原理和测量方法；掌握晶体管开关时间的定义和开关时间的测量方法；掌握晶 体管瞬态热阻的测量原理和测量方法；掌握晶体管稳态热阻的测量方法及其在器 件测量中的意义；掌握双极型运算放大器功能与参数的含义和及运放参数的测量 方法；掌握半导体器件 PN 结 C-V 特性测量方法，并分析其曲线特性；掌握半导体 少数载流子寿命的含义及其测量方法。 四、教学方法与基本要求 学生 2 人一组，每组一套实验仪器；课程以教师讲解，学生实际动手操作以 及师生讨论的形式实施。 在理论课程的学习基础上，通过大量实验，要求学生掌握半导体器件参数的 测量原理、测量方法和分析方法，掌握半导体器件参数测试设备的使用。 五、主要内容及学时分配 实验类型 实验项目 序号 主要内容 (或上机 实验类别 时数 每组人数 名称 类型) 熟悉双极型晶体管和场效应晶体管 的工艺流程与设计规则；了解器件 晶体管工 1 版图设计过程；掌握工艺仿真软件 上机 专业 17 20 艺仿真 的基本操作；学会使用仿真软件对 器件特性进行评估。 双极型晶 理解晶体管直流输入、输出特性、 体管直流 反偏及击穿特性，掌握相关参数的 2 验证 专业 4 2 参数的测 测量方法；了解晶体管特性图示仪 量 原理，掌握其使用方法。 VP，IDSS，BVDS，gm，RGS，IDSP MOS 场效 等直流参数的测量。理解 MOS 场效 益晶体管 应管 VP，IDSS，BVDS，gm，RGS，IDSP 3 验证 专业 4 2 基本参数 等直流参数的意义和测量方法；掌 的测量 握 MOS 场效应管参数测试仪的使用 方法。 晶体管特 理解晶体管特征频率 FT 的工作原 征频率 理，掌握晶体管 FT