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Techno Rich LCD CITIZEN 培训教材 技术课培训教材 第一页，共二十九页。 题目:无尘室的原理 内容简介: 无尘室的原理; 无尘室方式; 无尘室管理. 关键词:无尘室(Clean Room); 洁净度(Class); 作成:金昌明 第二页，共二十九页。 无 尘 室 什么是无尘室(Clean Room): 用通俗易懂的语言来描述的话,无尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子. Clean Room简称为CR 第三页，共二十九页。 洁 净 度 什么是洁净度(Class)? 就是指单位体积 ( 通常是立方英尺) 的空气中含有大于、等于0.5μm直径的尘粒的数量,也称为无尘度. 1英尺=30.48cm 1英尺 1英尺 1英尺 为0.5μm直径的尘粒. 尘埃的个数,就是洁净度. 例如: 有80个尘粒,那么洁 净度就是80. 第四页，共二十九页。 0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000 粒径: ?m 烟尘 大气尘 云,雾 大气中存在物 常见的粉、尘 空气清洁装置 电子显微镜下 看