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二极管扩散片研发规范
1 范围
本标准规定了二极管扩散片的产品分类及型号和研发程序等内容。
本标准适用于二极管扩散片产品的设计、开发及生产。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 14140 硅片直径测量方法
GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
SJ 11471 发光二极管外延片测试方法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
二极管扩散片 diode diffusers
二极管产品的半成品,是单晶硅经过扩散工艺后就形成了二极管扩散片。其经过后续再加工形成二
极管芯片,经过封装形成二极管成品。
4 产品分类及型号
4.1 产品分类
二极管扩散片按反向恢复时间,可分为超快恢复系列、高效系列、快恢复系列和普通系列。
4.2 产品型号
二极管扩散片产品型号如表1所示。
表1 产品型号
产品分类 型号
SF4
超快恢复系列 SF6
SF8
1
HER4
高效系列 HER6
HER8
FR4
快恢复系列
FR7
FR9
普通系列 STD
5 研发程序
5.1 开发策划
5.1.1 组织产品设计研发前,应充分考虑设计研发持续时间和复杂程度。
5.1.2 应分析产品的市场需求情况,产品应能够获得良好的经济效益。
5.1.3 产品质量和价格应满足客户需求,达到客户标准。
5.1.4 产品应便于生产、验收和控制。
5.2 产品设计
5.2.1 常规参数计算
二极管扩散片常规参数包括:反向恢复时间Trr,反向击穿电压VR,正向导通压降VF。
PN结结构计算参数包括:扩散片厚度,磷结深、硼结深、基区。
5.2.2 原材料(原硅片)选型
根据PN结结构数据设计:原硅片电阻率、电阻率均匀性、厚度、硅片掺杂类型。
5.3 产品试制
新产品试制阶段分为样品试制阶段、小批量试制阶段、中批量试制阶段和大批量试制阶段:
a) 样品试制阶段:根据设计参数进行产品样品试制,对产品的可行性和可操作性进行验证。普通
系列(STD)可试制20 片,超快恢复系列(SF)、高效系列(HER)和快恢复系列 (FR)可试制
30 片;
b) 小批量试制阶段:对产品的设计结构及质量进行验证,使产品设计基本定型。小批量可试制
100 片;
c) 中批量试制阶段:验证产品工艺是否能保证,审查产品主要工艺存在的问题。中批量可试制
1500-2000 片;
d) 大批量试制阶段:从技术、经济等方面对新产品作出全面评价,得出全面定型结论,投入正式
生产。大批量可试制2000-10000 片。
5.4 产品检验
5.4.1 温度条件
应在23-26℃条件下进行检验。
5.4.2 二极管扩散片几何参数
2
5.4.2.1 直径
按GB/T 14140的规定进行测量。
5.4.2.2 翘曲度
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