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会计学1TouchPanel双面SiO镀膜介绍
2Touch Panel 产品介绍背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。 F面SiO2F面ITO层玻璃R面ITOR面金属层R面ITO层第1页/共17页
3双面SiO2镀膜前准备双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。镀膜特殊用品介绍：金属Mask及铜磁背板。 第2页/共17页
4双面SiO2镀膜前准备金属Mask 金属MASK分两种，F面金属MASK间隔条为凹状，R面金属MASK间隔条为凹状第3页/共17页
5双面SiO2镀膜前准备金属Mask R面金属MASKF面金属MASK第4页/共17页
6双面SiO2镀膜前准备铜磁背板 铜磁背板没有镙孔面与玻璃基板接触第5页/共17页
7双面SiO2镀膜作业将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意F/R面MASK不要用错）第6页/共17页
8双面SiO2镀膜作业将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开）第7页/共17页
9双面SiO2镀膜作业基板对位标金属MASK对位框OKNG手动对位第8页/共17页
10双面SiO2镀膜作业在监视器上确认基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位）第9页/共17页
11双面SiO2镀膜作业将铜磁背板置于基板置于基板上，必须避免基板在金属MASK上的滑动第10页/共17页
12双面SiO2镀膜作业将组合好的待镀品置于待镀品区域第11页/共17页
13双面SiO2镀膜作业将待镀品挂上框架（注意金属MASK不能有翘曲）第12页/共17页
14双面SiO2镀膜品质缺陷主要品质缺陷※电子击伤※金属层划伤※SiO2掉膜※ SiO2打弧※粉尘、污染第13页/共17页
15双面SiO2镀膜品质缺陷电子击伤：ITO层在镀膜时被击伤，外观检查时呈一条黑线第14页/共17页
16双面SiO2镀膜品质缺陷金属层划伤：在镀膜时三明治结构出现错位，造成金属层的划伤第15页/共17页
17Thank You！第16页/共17页
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