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光学薄膜性能监测技术会计学第7章 光学薄膜性能监测技术第1页/共70页对高性能的光学薄膜器件的制备，性能测试是十分重要的；随着光学制备技术的发展，复杂结构薄膜器件的制备成为可能；只要能测出来的特性就一定能制备出来；光学薄膜测试技术主要包括：光学特性：光谱反射、透射以及器件的光学损耗(吸收和散射）；薄膜光学参数测试：n和d；非光学性能监测：附着力、附着能、应力和耐环境条件实验能力；光学薄膜应用范围广泛，器件的光学特性以及几何结构形状各异，所以薄膜器件的监测技术也必须适应器件特点；薄膜性能提高，要求测试新的特性参数、更高江都测试技术不管出现。第7章 光学薄膜性能监测技术第2页/共70页薄膜器件透射光谱测试；薄膜器件反射光谱测试；光学损耗(吸收和散射)检测技术；薄膜抗激光损伤阈值的测试技术；薄膜光学参数(n和d)测试；非光学参数(硬度、应力)测试技术；7.1 光学薄膜性能监测技术-透射和反射第3页/共70页透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术；薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试；光谱仪：按照波段不同划分为紫外－可见分光光度计：采用光谱分光原理测试；红外分光光度计：采用光谱分光原理测试；红外傅立叶光谱仪：采用干涉原理进行测试；根据薄膜器件几何结构与形状、尺寸、偏振选择测试方法；单色仪照明光学系统处理系统 光源 样