第十四章扫描探针显微分析技术.pptxVIP

第十四章扫描探针显微分析技术;一、 绪论; 第一代为光学显微镜;第二代为电子显微镜 ;第三代为扫描探针显微镜;三种观察原子得方法比较 ;2、1 扫描隧道显微镜(STM)得基本原理 2、2 STM两种扫描模式 2、3 STM得优势、局限性与发展 ;;9;隧道电流就是间距得指数函数; 如果针尖与样品间隙(?级尺度)变化10%,隧道电流则变化一个数量级。 ;2、2 STM两种扫描模式 ;; 扫描隧道显微镜(STM) 在研究物质表面结构、生物样品及微电子技术等领域中成为很有效得实验工具。例如生物学家们研究单个得蛋白质分子或DNA分子;材料学家们考察晶体中原子尺度上得缺陷;微电子器件工程师们设计厚度仅为几十个原子得电路图等,都可利用扫描隧道显微镜(STM)仪器。 ; 在扫描隧道显微镜(STM)问世之前,这些微观世界还只能用一些烦琐得、往往就是破坏性得方法来进行观测。而扫描隧道显微镜(STM)则就是对样品表面进行无损探测,避免了使样品发生变化,也无需使样品受破坏性得高能辐射作用。 另外,任何借助透镜来对光或其她辐射进行聚焦得显微镜都不可避免得受到一条根本限制:光得衍射现象。由于光得衍射,尺寸小于光波长一半得细节在显微镜下将变得模糊。而扫描隧道显微镜(STM)则能够轻而易举地克服这种限制,因而可获得原子级得高分辨率。;瑞士苏黎世研究实验室得宾尼格(G、Binnig)和罗赫(H、Rohrer)发明得扫描隧道显微镜(简称STM),在技术上实现了对单个原子得控制与操作。为此,她们与显微镜发明人鲁斯卡分享了1986年诺贝尔物理学奖。;; 在扫描隧道显微镜(STM)观测样品表面得过程中,扫描探针得结构所起得作用就是很重要得。如针尖得曲率半径就是影响横向分辨率得关键因素;针尖得尺寸、形状及化学同一性不仅影响到STM图象得分辨率,而且还关系到电子结构得测量。因此,精确地观测描述针尖得几何形状与电子特性对于实验质量得评估有重要得参考价值 。;1、 在扫描隧道显微镜(STM)得恒电流工作模式下,有时她对样品表面微粒之间得某些沟槽不能够准确探测,与此相关得分辨率较差。图2摘自对铂超细粉末得一个研究实例。她形象地显示了扫描隧道显微镜(STM)在这种探测方式上得缺???。铂粒子之间得沟槽被探针扫描过得曲面所盖,在形貌图上表现得很窄,而铂粒子得粒径却因此而被增大了。在TEM得观测中则不会出现这种问题。 ;图2? STM恒电流工作方式观测超细金属微粒(Pt/C样品) ;2 扫描隧道显微镜(STM)所观察得样品必须具有一定程度得导电性,对于半导体,观测得效果就差于导体;对于绝缘体则根本无法直接观察。如果在样品表面覆盖导电层,则由于导电层得粒度和均匀性等问题又限制了图象对真实表面得分辨率。 ;三、 原子力显微技术(AFM);3、1 原子力显微镜/AFM得基本原理 ; 二极管激光器发出得激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面,并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成得光斑位置检测器。在样品扫描时,由于样品表面得原子与微悬臂探针尖端得原子间得相互作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移,因而,通过光电二极管检测光斑位置得变化,就能获得被测样品表面形貌得信息。 ;;;2、 原子力显微镜/AFM得硬件结构;力检测部分 ;位置检测部分 ;反馈系统 ;;3、2 造成AFM悬臂偏转得力;3、3两种类型得AFM;3、3、1 接触式AFM