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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了一种带有刷洗功能的半导体加工用清洗装置，属于半导体加工装置技术领域，包括底板、支柱、顶板、驱动机构、存储机构和刷洗机构，所述底板的上表面通过支柱与顶板的下表面固定连接，支柱的外表面套设有多个滑套，滑套的左侧面固定连接有两个第二固定片，两个第二固定片之间铰接有连接杆，连接杆的另一端铰接在两个第一固定片之间。本实用新型中，通过设置滑套、连接杆和存储机构，滑套可以带动连接杆的一端上下移动，连接杆的另一端可以带动存储机构左右移动，可以向存储机构上喷淋清洗液，在清洗液的配合作用下，半导体材
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213558589 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022189757.3
(22)申请日 2020.09.29
(73)专利权人 广州市本源投资咨询有限公司
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